판매용 중고 FSI / YIELDUP Omega 4000 #180522

ID: 180522
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Megasonic wafer cleaning system, 8" (2) Stand alone tanks Automatic loading Process: Marangoni and SC1 Set up to inject SCi NHOH and H202 Mix typical clean solution (50) Wafer boats 1" Inlet-35-60PSI @10gpm Nitrogen: 75-85 PSI Exhaust: >350cfm Drain 30gpm, 2" or larger Operating temperature: 70 Degree, ±3 degrees Operating humidity: 40, ±6%RH Megasonic unit not included Recirculated tank only Currently de-installed 1997 vintage.
FSI/YIELDUP Omega 4000은 인쇄 회로 기판 및 기타 재료에서 장치 및 부품을 만드는 데 사용되는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 빛을 사용하여 패턴 (pattern) 을 다양한 기판으로 에치하며 양수 (positive) 와 음수 (negative) 포토레지스트 모두에 사용할 수 있습니다. FSI Omega 4000은 정교한 광 정렬 및 컴퓨터 제어 자동화를 활용하여 고정밀 프로젝트에 이상적입니다. 이 단위는 빛의 원천으로 구성되며, 다양한 유형의 포토 esist를 사용할 수 있습니다. 다른 광원을 사용하여 기질을 선택적으로 노출시킵니다. 여기에는 고급 세부 사항 및 레이저 플럭스 옵틱을 캡처하여 고해상도 세부 사항을 캡처하는 LED (Light Emitting Diode) 가 포함됩니다. 또한, 고급 카메라 머신 (camera machine) 을 사용하여 완성된 제품을 정확하게 이미지화하고 검사합니다. YIELDUP Omega 4000은 음성 및 양성 광사 프로세스를 모두 지원합니다. 마이너스 포토 esist (negative photoresist) 는 빛에 노출 된 패턴을 보존하기 위해 작동하며, 포토 esist의 개발 후 마이너스 포토 esist의 에칭이 적용된다. 양성 광소시스트 (positive photoresist) 를 사용하면 광폭을 통해 패턴이 에칭되고 개발 후 패턴이 보존됩니다. 이를 통해 사용자는 세밀한 세부 사항을 보존하고, 디바이스의 구성 (fabrication) 을 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. 이 도구는 최대 4 미크론의 해상도와 최대 3 밀리미터의 두께를 달성 할 수 있습니다. 고급 광학은 또한 넓은 지역에 걸쳐 +/- 0.03% 의 왜곡을 제공 할 수 있으며, 더 작은 지역에 대해 +/- 0.005% 의 왜곡을 제공 할 수 있습니다. 오메가 4000 (Omega 4000) 은 다양한 응용 프로그램에 대한 고정밀 결과를 제공하는 고급 포토레지스트 자산입니다. 고해상도, 정확도, 반복성을 요구하는 프로젝트에 이상적입니다. 시중에서 가장 발전된 포토리스 (photoresist) 시스템 중 하나로 입증됐다.
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