판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta #293759249

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta
ID: 293759249
Systems.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta (또는 'FSI Zeta') 는 집적 회로 장치의 정밀 패턴화를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 광저항계 (photoresist system) 는 세부적 인 "패턴 '을 감광 물질 층 에 인쇄 하는 데 사용 되며, 그 발달 로 인해 회로 층 의 후속" 패턴' 이 시작 된다. TEL Zeta 장치는 마스크 정렬기와 스핀 코터의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 무늬 마스크를 감광 물질 웨이퍼에 배치하는 데 사용되며, 정밀 정렬 및 정렬 조정 메커니즘이 있습니다. 이렇게 하면 패턴화된 마스크를 웨이퍼 서피스에 정확하게 중앙에 배치하고 등록할 수 있습니다. 스핀 코터는 또한 감광 물질의 웨이퍼를 처리하는 데 사용됩니다. 이 기계는 정확한 속도, 균일 한 필름 두께, 최소 거품 형성으로 포토 esist 물질을 웨이퍼에 전달 할 수있다. 스핀 코터 (spin coater) 메커니즘은 최적의 스핀 속도 (spin speed) 와 스핀 타임 (spin time) 을 설정하고 유지 관리하여 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에 걸쳐 포토 esist 물질의 균일 한 코팅을 보장 할 수 있습니다. 제타 (Zeta) 포토레시스트 (photoresist) 머신에는 각기 다른 집적 회로 장치의 패턴화 요구에 맞게 특별히 설계된 다양한 노출 설정이 포함되어 있습니다. 이러한 설정의 범위는 "낮음" 부터 "보통", "고에너지" 까지이며, 사용자 인터페이스를 통해 이러한 설정의 조합을 선택하여 원하는 패턴 해상도와 이미지 품질을 얻을 수 있습니다. 내구성 (post-resist) 에 노출된 TOKYO ELECTRON ZETA 포토리스 툴은 고성능 집적회로의 요구를 충족하도록 설계된 종단간 패턴화 솔루션을 제공합니다. 강력한 구성 요소와 정확한 제어를 통해, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ZETA photoresist 자산은 안정적이고, 사용하기 쉽고, 높은 정확도와 뛰어난 화질을 지닌 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다.
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