판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9158152

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300은 단일 통합 플랫폼에서 기판을 에치, 개발 및 인쇄 할 수있는 고성능 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 에치 레이트 (etch rate) 와 정확도 (accuracy) 를 특징으로하며 오늘날 가장 발전된 포토레지스트 재료와의 뛰어난 호환성을 제공합니다. FSI Zeta 300은 고속 패턴화 및 이미징 기능을 갖춘 FSI 및 TEL 고효율 UV 소스를 통합합니다. 이 장치는 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수 있으며, 빠른 샘플 액세스, 높은 처리량에서 고밀도 패턴화를 제공합니다. TEL Zeta 300은 조정 가능한 조도, 균일성, 고급 트림 에치 기능을 갖춘 다양한 에칭 옵션을 제공합니다. 통합 UV 소스는 고속, 고품질 에치 레이트와 효율적인 패턴화를 제공합니다. 이 기계는 또한 프로그래밍 가능한 노출 매개변수, 패턴 마스크, 자동 기판 처리 등 강력한 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 또한 고급 초미세 제어 (ultra-fine control) 기능을 통해 에치 속도, 청결도 이상, 잔류 저항률을 정확하게 조정할 수 있습니다. 이것은 노출 매개변수의 직접 제어, 조정 가능한 조명 균일성, 진정한 고정밀도, 낮은 왜곡 패턴 및 이미징과 같은 기능의 조합을 통해 수행됩니다. TOKYO ELECTRON Zeta 300은 반도체, MEMS 및 고주파 장치에 사용되는 것과 같은 포토 esist 재료와 뛰어난 호환성을 제공합니다. 또한 자동화된 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 높은 신뢰성을 보장합니다. 이 모델은 안정성을 위해 설계되었으며 핫/콜드 클리닝 사이클 (hot/cold cleaning cycle), 자동 기판 표면 특성 및 기판 보호 기능을 제공합니다. 제타 300 (Zeta 300) 은 또한 에너지 절약 기능을 자랑하며, 점점 더 엄격한 환경 규정을 준수하면서 프로세스 비용을 줄입니다. 이 장비는 자원을 절약할 뿐만 아니라, 근로자의 위험 물질에 대한 노출을 줄입니다. 이 시스템은 또한 프로세스 모니터링을 위해 고급 데이터 회계 (data accounting) 및 기록 보관 (record keep) 기능을 제공합니다. 결론적으로, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300은 뛰어난 에칭 정확도, 빠른 샘플 액세스, 높은 처리량에서의 고밀도 패턴 및 고급 초미세 제어를 자랑하는 최첨단 포토 esist 장치입니다. 이 기계는 반도체, MEMS 및 고주파 장치에 적합합니다. 또한 에너지 절약, 작업자 안전, 프로세스 비용 절감, 프로세스 모니터링 기능도 보장합니다.