판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9149325

FSI/TOYKO ELECTRON FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300은 광학 성분의 반사 방지 (AR) 코팅을 전문으로하는 광사 시스템입니다. FSI 제타 300 (Zeta 300) 은 AR 레이어의 특성을 최적화하고 그 아래 코팅의 가시성을 낮추도록 특별히 설계되었습니다. TEL Zeta 300은 PR (post-exposure resist) 로 알려진 2 파트 포토 esist 코팅 프로세스를 사용하며, 여기에는 특별한 프라이밍 과정뿐만 아니라 베이킹이 포함됩니다. 프라이밍 과정에서, 특수한 형태의 화학 증기 증착 (CVD) 이 프로세스 화학 물질의 증기 분자에 대한 장벽 역할을하는 얇은 형태의 탄소층 (thin layer of carbonaceous material) 을 생성하는 데 사용된다. 이것은 선택한 코팅에 대한 최적의 균일성을 보장하는 데 도움이됩니다. 저항 베이킹 공정은 프라이밍 (priming) 을 따르며 PR 레이어의 두께 및 접착 특성을 제어하는 데 사용됩니다. 이 과정 은 10.6 "미크론 '의 파장 에서 적외선" 레이저' 를 이용 하여 "레지스트 '물질 을 가열 시켜 광학 표면 위 에" 에칭 마스크 "를 만든다. 이 단계 는 "코우팅 '과정 중 에 어떤 바람직 하지 않은 영향 도 방지 하는 데 도움 이 되며, 그 결과 로 PR 층 을 잘 고착 하지 못합니다. TOKYO ELECTRON Zeta 300에는 PR 레이어의 광학 성능을 평가하는 독특한 R&D (반사 및 확산) 기능이 포함되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 선택한 코팅 (coating) 의 흡수 수준을 조정하여 최적의 수준의 광원 반사 (light reflection) 및 확산 기능을 보장할 수 있습니다. 마지막으로, Zeta 300에는 자동 스테레오 리소그래피 시스템이 장착되어 있어 광학 재료의 정확한 3D 이미징이 가능합니다. 이러한 유형의 이미징은 표면의 불완전성을 식별하고 수정하는 데 도움이 되며, 그렇지 않으면 AR 코팅의 성능을 변경할 수 있습니다. 이러한 기능의 조합은 FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 photoresist 시스템의 고급 정밀도와 함께 AR 레이어의 정확성과 성능이 필수적인 응용 분야에 이상적인 선택입니다.