판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #293639153

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300은 고정밀 리소그래피 작업을 위해 설계된 특수 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 주 제어 장치, 광원, 현미경, 챔버, 웨이퍼 스테이지 및 웨이퍼 캐리어를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 기본 컨트롤러에는 장치를 모니터하는 컴퓨터 (computer to monitor) 와 컴퓨터의 매개변수를 조정하는 프로그래밍 가능한 제어 (programmable control) 가 있습니다. 광원은 패턴을 만들기 위해 포토레시스트를 올바른 파장에 노출시키도록 설계된 자외선 (UV Light) 이다. 현미경은 빛을 광저장제에 정확하게 초점을 맞추는 데 사용되며, 최적의 이미지 해상도 (Optimal Image Resolution) 에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 구성 요소를 수용하고 깨끗하고 먼지가없는 환경을 유지하는 대형 컨테이너입니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 처리 중 가공소재를 이동시키는 데 사용되며, 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 는 포토 esist가 챔버 내에서 최적의 위치에 있도록 사용됩니다. FSI Zeta 300은 구성 요소 외에도 성능을 향상시키는 몇 가지 기능도 있습니다. 이러한 기능에는 고밀도 투영 도구, 나노 전자 현미경 지원, 자산 실시간 모니터링이 포함됩니다. TEL Zeta 300은 최소 선 너비가 0.2 µm, 고해상도가 100 나노 미터인 고정밀 리소그래피를 제공합니다. 정렬 정확도는 0.02 µm 미만이고, 초점 깊이는 0.6 µm 미만으로, 반복 가능하고 신뢰할 수있는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 가공소재를 빠르게 이동시켜 초당 최대 25mm (25mm/s) 의 스캔 속도를 달성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ZETA 300은 기판 카세트, 클리닝 모듈, 저항 처리 장치 등 리소그래피 프로세스에서 다른 도구와 함께 사용하도록 설계되었습니다. 이러한 구성요소는 모두 단일 사용자 인터페이스를 통해 통합되어 효율적이면서도 안정적으로 작동할 수 있습니다 (영문). 더욱이, 이 모델은 액체 (liquid) 및 건식 (dry type) 을 포함한 광범위한 광저항 물질을 처리 할 수있다. 전반적으로, Zeta 300은 다양한 리소그래피 응용 분야에 적합한 고급 사진 주의자 장비입니다. 다양한 기능과 구성요소 (구성 요소) 를 갖추고 있어 사용이 간편하며, 정확하고 안정적인 결과를 제공합니다.