판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #9397351
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ID: 9397351
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Spray cleaning system, 12"
(2) Chemical canister consoles
Titanium turntable style
Type: Robot
BROOKS AUTOMATION 2406-V2 Robot
STAUBLI TX90XLSCRfsi2 Robot
Does not include Hard Drive Disk (HDD)
Process modules:
Fluid Delivery Module (FDM)
Process Module (PM)
Material Handling Module (MHM)
Multi Position (MP)
Material Handling System (MHS)
Canister console
Power distribution cabinet
Canisters:
(3) H2O2
H2SO4
NH4OH
HCL
DHF
Missing parts:
Robot
PC
2006 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ZETA 300 G3 포토 esist 장비는 반도체 장치의 제작을 촉진하기 위해 설계된 최첨단 자동 생산 도구입니다. FSI Zeta 300 G3에는 다중 정렬 옵션이있는 고해상도 10 미크론 스테퍼와 고급 사진 해설을위한 다층 펠리클 시스템이 있습니다. photoresist 단위는 복잡한 패턴을 빠르고 정확하게 생성 할 수 있습니다. TEL Zeta 300 G3에는 현미경과 출력 플랫폼으로 두 배가되는 매우 정밀한 렌즈 (lens) 어셈블리가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 처리된 photoresist를 쉽게 보고 조작 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 카세트 전송 공구에 자동 카세트 (cassette to cassette transfer tool) 를 포함하여 회로를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드 할 수 있습니다. Zeta 300 G3는 나노 미터로 측정 된 서브 미크론 기능을 생산하는 우수한 해상도를 제공합니다. 에셋은 여러 파장 및 편광 설정을 사용하여 저항 마스크 패턴의 정확한 위치 설정 및 복제를 보장합니다. 챔버 인테리어는 깨끗하고 효율적인 저항 처리를 위해 고도의 산소 제어 (oxygen control) 로 제거됩니다. TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3의 고급 다층 pellicle 모델을 통해 photoresist 층을 균등하고 정확하게 증착 할 수 있습니다. 내부 셔터는 전자 제어 (electronically controlled) 되어 사진 분석 과정에서 높은 처리량과 정확도를 허용합니다. 패턴 템플릿은 CAD 소프트웨어 (CAD 소프트웨어 선택) 를 통해 장비로 쉽게 가져올 수도 있고, 내부적으로 생성할 수도 있습니다. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3는 포토 esist 처리의 진정한 발전소입니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 및 정렬 시스템 (Alignment System) 은 비교할 수없는 정확도를 제공하는 반면, 펠리클 시스템은 저항층이 고르게 침착되도록 보장합니다. 이 장치는 가장 정확하고 복잡한 패턴을 빠르게 처리 할 수 있으며, 반도체 소자를 효율적으로 생산할 수 있습니다.
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