판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #9181244

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ZETA 300 G3는 미세 전자, 생의학 및 광학 제작에서 미세한 세부 사항이 필요한 응용 분야를 위해 정확하고 반복 가능한 석판화를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 스테퍼 (stepper), 스캐닝 (scanning) 및 플립 칩 정렬 기능과 같은 고급 석판화 기능을 갖추고 있으며 최신 전해질 기술을 사용합니다. FSI Zeta 300 G3 (FSI Zeta 300 G3) 는 고급 I-line 유닛으로, 프로세스 시간과 뛰어난 결과를 통해 다양한 패턴 레이아웃을 제작할 수 있습니다. TEL Zeta 300 G3 포토 esist 머신은 고속 이미징 처리 및 고유 한 고급 리소그래피 기술을 결합하여 왜곡없이 고화질 이미지를 제공합니다. 최적 이미징 프로세스 (Optimal Imaging process) 와 100nm 이하의 선과 공백과 같은 작은 구조를 만들 수 있는 고해상도 패턴화 (high resolution patterning) 기능을 제공합니다. 또한 스텝 퍼 (stepper), 스캐닝 (scanning) 및 플립 칩 정렬 기능을 통해 생산 기판에 정확한 패턴 배치를 수행할 수 있습니다. "토오쿄오 '" 제타' 300 G3 는 전해질 용액 을 이용 하여 저항막 에서 오염 을 제거 한 다음 "레지스트 '용액 을 기판 표면 에 적용 시킨다. 이렇게 하면 최고 수준의 왜곡 제어 (Disortion Control) 가 보장되고 여러 패스가 필요하지 않습니다. 리토 그래피 결과를 개선하고 프로세스 시간을 줄이기 위해 기판 표면에 바인더가 적용됩니다. 이 도구에는 다양한 초점 렌즈 (focus lens) 가 장착되어 있어 초점 (focus) 을 조정하여 이미지의 해상도와 대비를 개선할 수 있습니다. 또한, 제타 300 G3 (Zeta 300 G3) 에는 노출 소스의 강도와 해상도를 조정할 수있는 소스 튜닝 섹션이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 저항 처리 조건을 변경하지 않고 노출 용량을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3을 구성하여 사용자의 특정 특성에 자동으로 보정할 수 있습니다. 전반적으로, FSI Zeta 300 G3는 스테퍼, 스캐닝 및 플립 칩 정렬 기능을 포함하여 많은 고급 기능을 갖는 포토리스 (photoresist) 자산입니다. 또한 최고 수준의 왜곡 제어 (distortion control) 와 이미지의 최대 정밀도를 위해 가변 초점 렌즈 (variable focus lens) 및 소스 튜닝 (source tuning) 섹션을 보장하는 독특한 전해질 솔루션이 있습니다. 결과적으로, TEL Zeta 300 G3는 정확한 패턴화가 필요한 모든 미세 전자, 생의학 또는 광학 제작을위한 완벽한 도구입니다.