판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600179
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3는 전자 장치 제조를 위해 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 첨단 하드웨어/소프트웨어 솔루션을 통합하여 최신 반도체 제작을 위한 최고의 정확성과 처리량을 제공합니다 (영문). 이 시스템은 최고 정확도의 석판화 이미징 (lithographic imaging) 과 감광 물질 청소, 제빵 및 처리가 가능합니다. 조명 소스는 삼중 파장 LED 배열입니다. LED가 독립적으로 조정되어 세 가지의 다양한 필드 (field of field) 를 제공하므로 초점과 최대 해상도가 뛰어납니다. 자동화된 기판 테이블 (automated substrate table) 을 사용하면 초점 위치를 수동으로 설정하지 않고도 포토리스 (photoresist) 재료를 가장 정확하게 전달할 수 있습니다. 결과적으로 프로세스의 정확성과 반복성이 최적화됩니다. 포토 esist 처리 챔버에는 다양한 가열 된 플래튼이 장착되어 있으며, "따뜻한" 및 "뜨거운" 베이크 작업뿐만 아니라 사전 에치 처리가 가능합니다. 방은 또한 진공 장치 (vacuum unit) 를 갖추고 있으며, 수분 수준 및 기타 기능 (예: 열 확산) 을 최적으로 제어 할 수 있습니다. 이 방은 특수 재순환 냉각기 (recirculating cooling machine) 에 의해 추가로 지원되어 최고 수준의 정밀 및 열 조절을 보장합니다. 고정밀 스테퍼 모터 및 스테이지 정렬 도구는 자동 웨이퍼 변속기와 함께 잘못된 정렬 및 "TSV (Through Silicon Via) 결함 형성의 전체 위험을 최소화합니다. 따라서 사용자의 개입을 최소화하면서 효율적인 구성이 가능합니다. 또한, 이 자산의 포괄적인 소프트웨어 제품군은 포괄적인 적응성과 구성성을 제공합니다. 이 모델은 다양한 포토레시스트 (photoresist) 시스템을 지원하며, 각 특정 레시피에 최적화된 설정을 제공합니다. 또한 자가 정렬 된 이중 패턴 (double patterning) 과 같이 충격이 적은 프로세스에 대한 복잡한 레시피를 쉽게 설정할 수 있습니다. 요약하면, FSI Zeta 300 G3 포토 esist 장비는 매우 정확한 반도체 생산을 위해 설계된 고도의 고급 시스템입니다. 종합적인 소프트웨어 제품군과 결합된 첨단 조명, 난방 (heating), 냉각 (cooling) 기능을 통해 일관되고 반복 가능한 생산 결과를 얻을 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다