판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN #9364338

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON TITAN은 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 초점이 긴 고해상도, 정밀한 광학 시스템 (optical system) 을 통해 다양한 저항을 사용할 수 있습니다. 이 장치는 고해상도 압력 감소 광학 기계, 저압 이미징 챔버, 다중 모드 또는 단일 모드 노출 소스, 자동 제어 도구로 구성됩니다. 이 자산은 하위 마이크로미터 이미지 전송 및 회로 절단 (sub-micrometer image transfer and circuit cutting) 과 같은 고급 사진 분석 프로세스에 사용됩니다. 또한, 노출 프로세스의 비용과 시간을 줄이는 데 도움이 됩니다. 또한, 향상된 정밀도 및 신뢰성, 뛰어난 반복성, 향상된 검사 정확성을 제공합니다. 이 모델은 폴리머, 고 k 유전체 필름, III-V 화합물 및 금속을 포함한 다양한 재료에 사용될 수 있습니다. 패턴화와 프로파일 제어를 모두 달성하기 위해 최적화된 저항 프로세스를 제공합니다. 즉, 동일한 매개변수를 사용하여 다른 재료의 서피스를 처리할 수 있습니다. 이 장비는 또한 동일한 시스템 플랫폼을 기반으로 하는 다양한 이미징 (imaging) 기술을 적용할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이러한 기술에는 진폭 변조, 위상 이동 및 조합 리소그래피가 포함됩니다. 게다가, 이 장치는 고해상도 광학 덕분에 향상된 결함 감지 정확도를 제공합니다. 기계의 구성 요소에는 소스, 검출기 및 광학이 포함됩니다. 광학은 원격 중심 렌즈, 고출력 응축기 및 절단 광학으로 구성됩니다. 소스에는 펄스 레이저 (pulsed laser) 가 포함되며, 검출기는 가우스 (Gauss) 필터와 선형 검출기 요소 배열로 구성됩니다. 이미징 도구 (Imaging Tool) 는 양성 왜곡 이미지를 균일하게 전달하도록 설계되었으며, 양성 저항과 음성 저항에 모두 사용될 수 있습니다. 전반적으로 FSI TITAN은 사용하기 쉽고 신뢰할 수있는 포토 esist 자산입니다. 긴 초점 깊이와 고해상도 광학으로 인해 고급 석판화 (lithography) 애플리케이션에 적합합니다. 정밀도 및 신뢰성 향상, 반복 가능성 향상, 검사 정확도 향상 등의 이점을 제공합니다. 또한, 멀티 모드 (multi-mode) 및 단일 모드 (single-mode) 노출 소스를 사용하면 다양한 저항 프로세스를 적용하여 패턴 및 프로파일 제어를 달성할 수 있습니다.