판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9237266

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn은 집적 회로를 제조 및 엔지니어링하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 CMP (chemical mechanical planarization) 프로세스를 위해 특별히 설계되었으며, 여기에는 기질의 화학 에칭 및 물리적 연소가 포함됩니다. 이 장치는 반도체 장치의 성능, 안정성, 수율을 높이기 위해 사용됩니다. FSI Saturn 기계는 스핀 코터, 개발 트랙 및 자동 웨이퍼 도량형 도구 (AWMS) 의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 스핀 코터는 포토 esist 필름을 웨이퍼에 적용하는 데 사용됩니다. 개발 트랙은 포토 esist 개발을 담당합니다. AWMS 는 스핀 코터 (spin coater) 의 스핀 속도와 시간 (time) 과 개발 트랙 (track) 의 온도 및 시간 (time) 을 결정하여 각 에칭 및 연마 공정의 최적의 성능을 보장합니다. TEL Saturn 자산은 물리적 연마, 화학 에칭, 에칭 및 연마, 제빵 및 하드 베이킹, 스핀 코팅 및 세탁을 포함한 다양한 CMP 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이러한 모든 프로세스는 모델의 소프트웨어를 사용하여 제어됩니다. 이 장비는 속도, 압력, 온도와 같은 CMP 프로세스 매개변수를 최적화하여 반도체 장치의 성능, 안정성, 수율을 향상시킵니다. 이 시스템에는 에지 패시베이션 (edge passivation), 벌크 레지스트 에치 (bulk resist etch), 측면 벽 이미지 전송 등 다양한 포스트 프로세스 기능이 있습니다. 안전 측면에서, 토성은 포토 esist 유닛의 모든 요구 사항을 충족시킵니다. 여러 개의 안전 센서가 장착되어 있어 위험 (risk) 과 경고 (alarms) 연산자를 감지할 수 있습니다. 비상 정지 (Emergency Stop) 기능과 함께 지침 설명서 (Instruction Manual) 및 안전 안내서 (Safety Guide) 를 사용하여 운영자가 기계를 이해하고 안전 절차를 따르도록 도와줍니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON Saturn은 집적 회로를 설계하고 제작하기위한 고급 도구입니다. CMP 매개변수와 포스트 프로세스 함수 (post-process function) 를 최적화하여 안정적이고 고품질 출력을 보장합니다. 이 자산은 또한 수많은 안전 (safety) 기능을 제공하여 엔지니어링 및 제조 마이크로 칩을 위한 안전하고 효과적인 솔루션입니다.