판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9236451

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn은 Photolithography, Metrology, Optical and Electrical Contact Imaging, 결함 검사 등 다양한 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 제품은 고해상도 이미징 기능, 고급 자동화 기능, 컴퓨터 지원 분석 기능 등 다양한 애플리케이션을 위한 다양한 기능을 제공합니다 (영문). 이 시스템은 가변 간격 소스/검출기 (variable-gap source/detector unit) 를 갖춘 새로운 광학 레이아웃 (optical layout) 을 중심으로 구축되어 기계가 다양한 크기와 모양의 신호를 감지 할 수 있습니다. 고속 이미징 도구, 자동 웨이퍼 분석 에셋과 결합된 이 광학 레이아웃은 FSI Saturn을 고정밀 (high-precision) 이미지 캡처 및 특성화를위한 강력한 도구로 만듭니다. TEL Saturn 모델은 16 비트 해상도의 디지털 이미징 및 제어 장비로, 다양한 컴퓨터 플랫폼으로 작동 할 수 있습니다. 대형 물체와 표면을 이미징하기 위해 넓은 시야 (6.5x6.5mm) 를 제공하며, 해상도는 0.8 미크론까지 제공합니다. 가변 간격 소스/검출기 (variable-gap source/detector) 시스템은 다양한 물리적 환경에서 최적의 이미지 선명도와 정확성을 제공합니다. 이 장치는 또한 반도체 피라미드 및 원통형 구조를 포함하여 자동 검사 중에 최대 16 개의 패턴을 인식 할 수 있습니다. 이 기계의 핵심에는 특허를 받은 첨단 이미지 캡처 (image-capture) 기술이 있는데, 이를 통해 매우 정확한 이미징 및 신호 분석 기능을 사용할 수 있습니다. 토성 (Saturn) 은 이미지 캡처 하드웨어에서 고해상도 디지털 신호를 읽는 특수 선형 인코더 (Linear Encoder) 와 표면 토폴로지 분석을위한 특허받은 간섭계 (Interferometer) 기술을 사용하여 파면 왜곡 및 이미지 대비를 측정 할 수 있습니다. 이 기능의 조합으로 공구가 0.5 미크론 (미크론) 의 작은 결함을 감지하고, 200 미크론 (미크론) 정도의 두께로 개별 구조를 측정 할 수 있습니다. 도쿄 전자 새턴 (TOKYO ELECTRON Saturn) 의 자동화 자산은 모든 컴포넌트가 함께 작동하여 고품질 이미지를 지속적으로 생성하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 자가 보정 (self-calibration), 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 및 예측 유지 관리 (predictive maintenance) 를 위한 지능형 알고리즘이 포함되어 있어 정밀 제어 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 또한 FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn의 맞춤형 소프트웨어 패키지에는 대화식 및 일괄 수정 이미지 분석을위한 도구가 포함되어 있습니다. 요컨대, FSI Saturn photoresist 장비는 높은 정밀도의 이미지를 캡처하고 특성화하는 강력한 기능을 나타냅니다. 가변 간격 소스/검출기 시스템 (variable-gap source/detector system), 고속 이미징 유닛 (fast imaging unit), 자동화된 웨이퍼 분석 시스템 (automated wafer analysis machine), 고급 자체 교정 및 예측 유지 관리 기능을 통해 많은 고급 제조 프로세스에 이상적인 플랫폼이 됩니다. TEL 토성 (TEL Saturn) 도구의 표면 토폴로지의 정확한 특성화 및 작은 결함의 검출은 반도체 제작에서 인쇄 및 소형화 프로세스에 이르기까지 많은 산업에 귀중한 자산이됩니다.