판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293811533

FSI Saturn은 고급 IC 기술의 고급 리소그래피 처리를 위해 설계된 고성능 photoresist 장비입니다. 이 시스템은 고속 열/진공 처리 스테이션에 연결된 고해상도 디지털 영상 장치 (digital imaging unit) 로 구성됩니다. 이를 통해 반도체 웨이퍼에 서브미크론 (sub-micron) 고가상도 (high-aspect ratio) 기능을 만들 수 있는 고정밀 이미징 및 에칭 기능이 제공됩니다. Saturn은 디지털 이미징과 열/진공 처리 기술을 결합하여 매우 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 리소그래피 결과를 제공합니다. 단일 노출로 광학적으로 수정된 (optically corrected) 풀 필드 (full-field) 및 대용량 이미징 기능을 갖춘 전용 디지털 이미지 획득 머신을 사용합니다. 또한, 주요 서브 미크론 리소그래피 기능을 달성하기 위해 고급 RET-E (Integrated Resolution Enhancement Techniques) 도구를 제공합니다. 이 도구에는 고급 진공 처리 스테이션 (vacuum processing station) 과 열 처리 제어 장치 (thermal processing control unit) 와 직관적인 다중 영역 제어판이 포함됩니다. 이를 통해 처리 매개변수를 정확하고, 반복 가능하며, 정확하게 제어할 수 있으므로, 균일성 (unifority) 과 공정 (process) 결과가 매우 높은 수율 제품을 얻을 수 있습니다. 또한 FSI 토성 (FSI Saturn) 은 여러 레이어의 처리를 수용하기 위해 넓은 활성 영역과 다양한 샘플 처리 옵션을 갖추고 있습니다. 이 자산은 빠른 이미징 및 처리 시간을 제공하도록 설계되었으며, 총 주기 시간은 1 ~ 2 분입니다. 또한, 데이터 모니터링, 로깅, 분석을 위한 통합 모델이 있어 상당한 비용 절감 효과를 거두고 있습니다. 이 장비는 운영 비용 (Operating Cost) 과 사용 편이성을 위해 설계되었으며, 컴팩트 (Compact) 솔루션으로 다양한 리소그래피 옵션을 제공합니다. Saturn은 고급 석판화 처리 기능을 위해 설계된 비용 효율적인, 풍부한 포토리스트 시스템입니다. 독자적인 디지털 이미지 획득 장치 (Digital Image Acquisition Unit) 와 고급 해상도 향상 기술을 사용하여 정확하고 신뢰할 수 있는 이미징 및 에칭 결과를 제공합니다. FSI Saturn (FSI Saturn) 은 빠른 처리 시간 및 통합 머신을 통해 하이엔드 제조 및 연구 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.