판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293748011

FSI 새턴 (FSI Saturn) 은 미세 리토 그래피에 사용되는 포토 리토 그래피 (photomask) 장비로, 패턴을 반도체 및 기타 전자 부품으로 전달하는 데 사용됩니다. 토성 시스템은 독자적인 엑시머 레이저 (excimer laser) 를 사용하여 깊은 자외선을 방출하여 포토 esist의 포토 마스크를 만듭니다. 포토 마스크 (Photomask) 는 엑시머 레이저가 포토 esist를 두 번 노출시키는 데 사용되는 이중 노출 (double-exposure) 과정을 사용하여 생성되며, 노출 사이에 포토 esist를 굽는 중간 단계가 있습니다. FSI Saturn 장치에서 생성 된 photomasks는 0.25 미크론의 해상도와 12.5 나노 미터의 균일성으로 매우 정확합니다. 이 기계의 얕은 기능을 0.2 미크론 (미크론) 까지 노출시키는 기능, 형태 및 크기가 균일 한 포토 마스크 (photomask) 에 걸친 기능을 통해 가장 발전된 반도체 제작 프로세스에 적합합니다. 토성 (Saturn) 도구는 표준 (Standard) 과 고급 (Advanced) 포토리스트 (Photoresist) 와 호환되며, 다양한 마스크 디자인과 재료를 수용할 수 있도록 설계되었으며, 제조업체는 다양한 응용 프로그램에 대해 매우 정확하고 복잡한 포토마스크를 만들 수 있습니다. 이 에셋에는 프로세스 레시피 (process recipe), 노출 기간 (exposure durations), 모델 제어 (model control) 등의 소프트웨어 툴이 포함되어 있어 최소한의 노력으로 원하는 패턴을 쉽게 만들 수 있습니다. 또한, FSI 토성 (FSI Saturn) 장비는 생산에 들어가기 전에 재료와 프로세스를 사전 검증할 수 있으므로, 사용자는 자신의 디자인이 예상 품질 사양에 부합하도록 안심할 수 있습니다. 이를 통해 개발 단계에서 낭비되는 시간을 줄이고, 사용 준비가 되면 포토마스크 (photomask) 의 품질이 최적 (optimal quality) 이 되도록 할 수 있습니다. 새턴 시스템 (Saturn system) 은 고급 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 부품을 제작하는 데 매우 유용한 툴로서, 사용자 친화적 인 플랫폼에서 높은 수준의 정확성과 성능을 제공합니다.