판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293746517
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FSI 새턴 (FSI Saturn) 은 다양한 사진에 민감한 저항을 정교하게 개발할 수 있도록 설계된 고성능 포토레시스트 (photoresist) 장비입니다. 사전 노출 및 노출 후 리소그래피 기능을 제공하는 자동 시스템입니다. 이 장치에는 선형 경로를 따라 기판의 낮은 왜곡 정렬 및 이동을위한 웨이퍼 단계 (wafer stage) 가 포함됩니다. 또한 노출광의 입사각도를 정확하게 제어하는 고정밀 미러 (high-precision mirror) 도 포함되어 있습니다. 토성 기계는 다양한 포토 esist에 대한 고해상도 및 정밀 노출을 가능하게합니다. 즉, 낮은 왜곡으로 최적의 정렬 정확도를 제공하며, 높은 성능과 정밀도로 저항을 개발할 수 있습니다. 이 도구는 또한 입사한 빛의 수차에 대한 적극적인 보상을 제공하여, 프로세스 속도를 향상시키는 동시에 해상도를 향상시킵니다. 이 자산은 다른 운영 장비와의 손쉬운 통합을 위해 설계되었으며, 구성 요소의 자동화 및 호환성을 보장합니다. FSI Saturn 모델은 최대한의 처리량과 고해상도를 위해 최신 기술을 사용합니다. 여기에는 정확한 등록 (Registration) 및 조명 제어 (Illumination Control) 용 스테퍼 모터가 있는 UV 램프헤드가 포함되어 있어 노출 및 처리 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 광학은 노출 과정 전과 동안 불필요한 온도 이동을 제거하기 위해 온도가 안정화됩니다. 또한 고급 광학 분석기 (Optical Analyzer) 가 포함되어 있어 렌즈 수차, 균일성, 해상도 등 광학 문제를 파악하고 특성화할 수 있습니다. 따라서 각 photoresist 레이어에서 최상의 품질을 얻을 수 있습니다. Saturn 시스템은 다양한 구성 옵션을 제공합니다. 또한 높은 종횡비, 실리콘 비아 (TSV) 및 이중 층을 포함한 다양한 재료 및 구조를 지원합니다. 요약하자면, FSI Saturn은 고정밀도, 고해상도 사진 해설을 위해 설계된 현대적인 포토 esist 장치입니다. 최신의 포토레시스트 (photoresist) 를 개발하는 데 필요한 다용성과 신뢰성을 사용자에게 제공한다.
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