판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233649

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON SATURN MP는 MEMS (microelectrical mechanical system) 및 생의학 장치와 같은 초소형 민감성 장치의 제조를 용이하게하도록 설계된 완전 자동 고해상도 포토 esist 장비입니다. 저용량 균일성 (unifority) 을 갖춘 고급 노출 제어를 특징으로하는이 시스템은 최대 4 인치 크기의 기판을 100jm 크기 (feature size) 로 처리하기에 적합합니다. FSI 새턴 (FSI Saturn) MP에는 디지털 다각형 스캐너 (digital polygonal scanner) 가 장착되어 있어 단일 패스에서 최대 5jm의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 이 스캐너는 단일 대상 모드와 다중 대상 모드 모두에서 스캔할 수 있습니다. 치료. 또한, 이 기계는 공구와 호환되는 다양한 오버레이 소프트웨어 (overlay software) 를 사용할 때 정확한 정렬을 보장하는 특수 보정 테이블 (calibration table) 을 제공합니다. 또한 TEL 새턴 MP (TEL Saturn MP) 는 직관적인 인터페이스를 제공하여 설치 및 작동이 용이하므로 초보자 사용자에게도 이상적입니다. Si (실리콘), 폴리머, 유리 및 석영 재료뿐만 아니라 전통적인 습식 공정을 포함한 다양한 기판을 지원합니다. 이 모든 기능 은 "에셋 '을 매우 다양 하게 만드는데, 이것 은 가장 어려운 재료 의 효과적 인 무늬 를 가능 케 한다. 이 모델은 또한 학습, 문제 해결에 귀중한 프로세스 데이터를 추적, 기록할 수 있습니다. 이 기능은 복잡한 기판을 다룰 때 특히 유용합니다. 즉, 이 장비는 사용자에게 패턴과 최적화 결과를 자세히 분석 (detailed analysis) 할 수 있기 때문입니다. 편의를 위해, TOKYO ELECTRON Saturn MP는 모듈 식 설계 화학 스테이션과 함께 제공되며, 필요할 때 빠르고 쉽게 교체 할 수 있습니다. 이것 은 특수 가공 이 필요 한 기판 재료 를 처리 할 때 특히 유용 할 수 있다. 전체적으로 새턴 MP (Saturn MP) 는 초소형 감수성 장치를 보다 쉽고 효율적으로 제조하도록 설계된 최첨단 포토리스 시스템입니다. 고급 노출 제어, 직관적인 인터페이스, 모듈식 설계 화학 스테이션 (modular designed chemistry station) 을 갖춘 이 장치는 강력하고 신뢰할 수있는 포토 esist 솔루션을 제공합니다.