판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233648

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MP는 반도체 제조 및 고급 리소그래피 프로세스에 사용되는 다재다능한 포토 esist 장비입니다. 반도체 처리, 마이크로 전자 장치 제작, 나노 기술, 고급 리소그래피 및 기타 표면 실장 영역 (surface-mount area) 과 같은 광범위한 작업을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 패턴, 정렬, 에칭, 도량형 및 증착을 포함하여 웨이퍼 제작을위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. 최첨단 기능을 통해 오늘날의 반도체 업계의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. FSI Saturn MP 장치는 기본 컨트롤러, 프로세스 모듈 세트, 로봇 암 (robotic arm) 의 3 가지 핵심 구성 요소로 구성되어 있습니다. 컨트롤러는 모든 프로세스를 제어하고 마스크 정렬기, 스테퍼 모터, 저항 롤러, 스핀 코터, 대기 모니터, 기타 다양한 액세서리를 포함한 외부 기계와의 상호 작용을 담당합니다. 공정 모듈 (process module) 은 photolithography 프로세스를 지원하기 위해 필요한 모든 전원, 가열 및 냉각 기능을 제공합니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 웨이퍼를 적재 및 언로드하며 다양한 웨이퍼 크기에 맞게 조정할 수 있습니다. TEL Saturn MP는 다양한 고급 기능을 제공하여 효율성을 극대화하고 다운타임을 최소화합니다. 여기에는 신속한 패턴 조정, 문서 관리 및 통계 보고를 위한 멀티 템플릿 사용자 인터페이스 (multi-template user interface) 가 포함됩니다. 또한 wafer start-up 매개 변수에 빠르게 액세스할 수 있는 단일 클릭 wafer-handling 및 photolithography 레시피의 원격 편집 및 관리를 위한 포괄적인 레시피 관리 도구를 제공합니다. 이 자산은 또한 품질 보증을 위해 다양한 웨이퍼 단계를 모니터링하고 기록하는 오프라인 추적 기능 (옵션) 을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Saturn MP는 폴리머, 연속 톤 및 포토 esist를 포함한 다양한 저항 화학 물질과 호환됩니다. 업계 최고의 소모품/예비 부품 제품군 (Consumable and Spare-Parts Product Line) 과 고객 솔루션과 지원을 제공하기 위한 커밋된 기술 인력을 보유하고 있습니다. 이를 통해 모델은 가장 까다로운 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 동시에 '안전 (Safety)' 과 '최상위 (Top Level)' 의 성능을 보장할 수 있습니다.