판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury #9354313

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury는 OEM 인티그레이터 및 첫 번째 레벨 사용자를 위해 설계된 자동화된 독립형 포토 esist 장비입니다. 자동 스핀 코팅 (spin coating) 및 베이킹 기능을 제공하는 비용 효율적인 솔루션으로, 시간당 최대 75 웨이퍼의 출력 속도를 제공합니다. 이 시스템에는 웨이퍼 위의 포토 esist의 균일 한 분산을위한 12도 기울기가있는 11.8 "스핀 트랙 턴테이블이 포함되어 있습니다. PVDF 턴테이블은 최고 3000 rpm까지 회전적으로 구동되며, 최고판 가속도는 500 rpm/sec2입니다. 조절 가능한 테이블의 유체 유입 온도 범위는 25 ° c ~ 65 ° c이며, 뒷면 가열 온도는 최대 100 ° c입니다. 이 PVDF 턴테이블은 포지티브 및 네거티브 레지스트, 고온 포토리스트, 코팅 후 처리 (post-coating treatment) 및 기타 관련 프로세스 재료를 포함한 다양한 포토리스트 (photoresist) 를 위해 설계되었습니다. 대용량 설계를 통해 설치 시간을 최소화하면서 처리량을 극대화할 수 있습니다. 통합 PLC (Integrated PLC) 및 터치스크린 조작자 인터페이스를 통해 액체 전달 장치를 쉽고 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기계는 안전한 작동을 위해 UL 인증을 받았으며, 내구성에 대한 최고의 표준을 충족하도록 제작되었습니다. 턴테이블에는 진공, 판 온도, 저항 균일성, 기판 압력 등 주요 기능을 모니터링하는 인라인 (in-line) 진단 도구가 있습니다. 고유 한 소프트웨어 패키지는 용량 조절에서 웨이퍼 로딩에 이르기까지 전체 저항 코팅 사이클을 자동화합니다. 고급 데이터 로깅 (Advanced Data Logging) 및 레시피 관리 (Recipe Management) 기능도 포함되어 있어 클릭 한 번으로 정확한 프로세스 준수를 보장합니다. 화학적 증강을 막기 위해 PVDF 턴테이블에는 클린 레지스트 (clean resist) 사용을 촉진하는 단일 사용, 자체 청소 노즐 및 배수 자산이 장착되어 있습니다. 이 모델은 또한 효과적인 스프레이어 디자인과 통합 퀸처 (quencher) 를 사용하여 스핀 오프 폐기물을 최소화하도록 설계되었습니다. FSI PVDF Turntable for Mercury는 광범위한 photoresist 처리 요구에 이상적인 솔루션입니다. 강력한 디자인, 통합 안전 (Integrated Safety) 기능, 자동화되고 효율적인 운영 기능을 갖춘 이 제품은 포토레시스트 (photoresist) 사용자를 위한 완벽한 선택입니다.