판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9384397

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP는 제어 가능한 반경에서 반도체 웨이퍼를 장착 및 처리 할 수있는 포토 esist 장비입니다. 펄스 너비 변조 기술을 사용하여 웨이퍼 반지름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 과정 에는 "모우터 '에" 토로디얼 스핀들' 을 장착 하고 "와퍼 '의 반경 을 조정 하기 위하여 압제 하는 것 이 포함 된다. FSI PVDF Turntable for Mercury MP는 열 및 수은 MP Photoresist 프로세스에 대한 TEL 턴테이블을 위해 모든 범위의 FSI 제어 장치를 지원합니다. EH-030TTEL PVDF Turntable for Mercury MP에는 시스템의 정확하고 안전한 정밀 작동을 촉진하도록 설계된 몇 가지 기능이 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 가 중심이 되도록 웨이퍼를위한 편심 마운트/언로드 플랫폼이 포함되어 있습니다. 또한 균일성과 정확성을 위해 정밀 제어 원에서 고속 웨이퍼 스핀을 허용하는 ERPM 모터 및 스핀들 (spindle) 이 특징입니다. "모우터 '는" 브러쉬' 가 없고 보호 주택 으로 완전 히 둘러싸여 먼지 와 잔류 물 을 채취 하지 못한다. 또한 EH-030TPVDF Turntable for Mercury MP는 과열 예방을위한 고전력 단계 인 OVP (Over Voltage Protection) 와 정확성을 위해 통합 온도 제어를 제공합니다. 정확성을 위해 보정되며, 소프트웨어 기반 보정을 위한 모니터/프린터 포트를 포함합니다. 웨이퍼 중심 (wafer centring) 기능은 웨이퍼의 정확한 중심을 보장하며 PVDF 코팅은 웨이퍼 표면의 마비를 방지합니다. 수은 MP를위한 EH-030TTOKYO ELECTRON PVDF 턴테이블의 프로세스 작동은 빠르고 효율적입니다. "스핀들 '과 모든 움직 이는 부분 들 이 보호 주거지 에 밀집 되어 있기 때문 에 그것 은 본래 안전 하다. 펄스 너비 변조 (pulse-width modulation) 는 단위에서 방출 된 수은 빛에 대한 저항의 노출을 짝수를 보장한다. 이렇게 하면 웨이퍼에 일관성 있고 품질 있는 저항층 (resist layer) 이 적용됩니다. 결론적으로, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP는 제어 가능한 반경에서 반도체 웨이퍼를 장착하고 처리하기위한 효율적이고 안전한 프로세스를 제공하는 포토 esist 기계입니다. 여기에는 정밀도를위한 마운트/언로드 플랫폼, 먼지 예방을위한 밀폐 모터, 정확도를위한 온도 제어, 수은 빛에 대한 저항의 일관성을 위해 펄스 너비 변조 기술 (pulse-width modulation technology) 이 포함됩니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 에서 고품질 저항층 (resist layer) 을 찾는 사람들에게 신뢰할 수있는 도구다.