판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9384393

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ID: 9384393
웨이퍼 크기: 5"
5" 6-Station.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP는 포토 esist 처리를 위해 설계된 전문 장비입니다. 광전물질 (photoresist) 은 빛에 노출되어 발달했을 때 다양한 패턴으로 형성 될 수있는 액체 물질이다. 반도체 장치, 디스플레이 및 마이크로 일렉트로닉 구성 요소의 제작에 널리 사용됩니다. FSI PVDF Turntable for Mercury MP는 안정적이고 일관된 결과를 제공하도록 설계된 강력한 장비입니다. 원자 결합이있는 PVDF (polyvinylidene fluoride) 플라스틱으로 만들어졌으며 처리 중 우수한 내열 및 비 습식 특성을 제공합니다. 턴테이블에는 정적으로 균형 잡힌 이동식 스핀들 (removable spindle) 을 포함한 다양한 기능이 장착되어 있으며, 이를 통해 정확한 포토리스 (photoresist) 응용 프로그램 및 처리와 최대 8 인치까지 다양한 웨이퍼 크기를 지원하는 통합 로드 (Load) 및 언로드 (Unload) 핀이 제공됩니다. 또한, 턴테이블에서 웨이퍼의 올바른 위치를 보장하는 Kinematic Safety Clamp가 장착되어 있습니다. 포토 esist 응용 프로그램 시스템은 탁월한 일관된 균일성을 제공하며, 맥박 브레이크 (Pulse Break) 기술로 인해 일관되고 반복 가능한 프로세스를 통해 재료의 정확한 혼합을 보장하도록 설계되었습니다. 또한 TEL PVDF Turntable for Mercury MP에는 정교한 다지점 온도 제어 장치가 포함되어 있어 열 관리를 섬세하게 수행할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP에는 크기나 유형의 웨이퍼에 맞게 쉽게 변경할 수있는 독특한 Load and Unload 핀 머신이 장착되어 있습니다. 통합 온도 조절 장치 (integrated thermostat) 는 웨이퍼의 온도가 정확한 포토 esist 적용 및 처리를 위해 최적의 수준으로 유지되도록 보장합니다. PVDF Turntable for Mercury MP는 포토 esist 응용 프로그램 및 처리에 적합한 선택 사항입니다. 극한의 환경에서도 전례없는 정확성과 일관성을 제공합니다. 결과적으로, 그것은 photoresist 생산 과정의 필수 구성 요소가되었습니다.
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