판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9092981

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris는 집적 회로 제조를위한 고급 포토 esist 장비입니다. 포토레스 (Photoresist) 는 Fab 공정의 기질로 패턴과 구조를 전달하는 데 사용되는 기술입니다. 이 특정한 도구는 속도, 해상도, 용량 측면에서 탁월한 도구입니다. 시스템의 내부는 고급 고속 반도체 프로세서로 제작되었습니다. 이것은 작동, 데이터 전송, 이미지 처리 등의 필수 기능을 수행하는 장치의 핵심입니다. 또한 "스캐닝 '" 레이저' 와 "렌즈 '로 구성 된 매우 민감 한 광학 기계 가 있으며," 디플렉터' 거울 과 함께 작용 하여 정확 한 영상 을 한다. 이 도구는 듀얼 빔 스캐너와 통합되었으며 미쓰비시 (Mitsubishi) 의 특허 솔루션 중심 이미징 기술을 통해 FSI 폴라리스 (Polaris) 는 이전 모델보다 최대 2.5배 빠른 이미지 성능을 제공합니다. 자산에는 온도 제어 및 기타 여러 기능이 포함됩니다. 이 모델은 또한 최적화 된 노출 시간 (exposure time) 으로 제작되어 포토 esist가 어두운 결함 또는 잔기를 생성하지 않도록 합니다. 이 장비에는 속도 및 이미징 정밀도 외에도 독특한 마스크 스테이지 (mask stage) 기능이 포함되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 이미징 중에 photomask의 높이와 기울기를 조정할 수 있으므로 서브미크론 (submicron) 기능의 임계 치수 (CD) 를 정확하게 조정할 수 있습니다. TEL Polaris는 또한 광범위한 E-Beam 및 Laser 기술을 지원하므로 경쟁 기술보다 더 유연한 리소그래피 옵션을 제공합니다. 또한, 이 시스템에는 몇 가지 독특한 고급 카메라 (advanced camera) 기술이 포함되어 있으므로 사용자가 전체 웨이퍼 커버리지를 실시간으로 볼 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 (Wafer) 프로세스를 더욱 효율적으로 제어할 수 있는 결함 위치를 파악하고 수정할 수 있습니다. 안전성 측면에서, 이 장치는 고급 다중 계층 안전 보호 (multi-layer safety protection) 기능을 사용하여 안전 규정을 준수하며, 전자기 간섭 (electromagnetic interference) 으로 인해 기계의 중요한 구성 요소가 손상으로부터 보호됩니다. 폴라리스 (Polaris) 는 모두 일종 포토리스 (photoresist) 도구이며 뛰어난 결과와 다양한 옵션을 제공합니다. 통합 회로 제작에 적합한 것으로 입증되었습니다.