판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris PR #9375500

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris PR은 FSI International 및 TEL이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 사용자가 패턴화 (Patterning) 및 에칭 (Etching) 프로세스를 위한 탁월한 해상도를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 고해상도 마스크 알리그너 (Mask Aligner) 와 종합적인 습식 및 건식 처리 솔루션을 결합했습니다. 장치의 마스크 정렬 (Mask Aligner) 은 서브 미크론 해상도로 마이크로 피쳐의 정밀 패턴을 만들 수 있습니다. 이것은 향상된 디포커싱 및 서브-조리개 스티칭을 특징으로하는 고급 투영 리소그래피 헤드를 통해 달성됩니다. 프로젝터는 또한 정밀도를 보장하기 위해 가변 오명 및 다중 자동 초점 시스템을 갖추고 있습니다. 습식 및 건식 처리 솔루션은 플라즈마 처리 챔버, 스핀 처리 도구, 에칭 도구, 기판 로더, 사용자 인터페이스를 결합한 통합 플랫폼을 기반으로합니다. 플라즈마 처리 챔버는 저항층의 우수한 에치 레이트와 안정성을 제공합니다. 또한 에칭 프로세스를 정확하게 제어하여 오버에치 효과를 줄일 수 있습니다. 스핀 처리 도구는 photoresist 및 기타 재료의 정확한 패턴을 용이하게합니다. 에칭 도구를 사용하면 평면이 아닌 기판 또는 피쳐를 정확하게 제거할 수 있습니다. 또한, 기판 로더는 서로 다른 처리 도구 사이에서 기판을 이동할 수있는 자동화된 방법을 제공합니다. 이 기계는 또한 통합 프로세스 제어 도구를 사용하여 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 자산은 데이터 로깅 (data logging), 다른 분석 시스템과의 통신 (communication with other analytical systems) 및 프로세스 성능을 최적화하기 위해 프로세스 매개변수를 조정하는 데 사용할 수 있는 원격 모니터링 툴을 갖추고 있습니다. 또한, 이 모델에는 노출 모니터링 (Exposure Monitoring) 및 웨이퍼 분할 (Wafer Segmentation) 과 같은 추가 기능이 장착되어 프로세스 제어를 더욱 향상시킵니다. 마지막으로, 장비의 사용자 인터페이스는 직관적인 작동 및 데이터 시각화를 제공합니다. 사용하기 쉬운 인체 공학적 디자인이 특징입니다. 또한 품질 관리 프로세스를위한 고급 보고서 생성 시스템도 포함되어 있습니다. 전반적으로, FSI 폴라리스 PR (FSI Polaris PR) 은 패터닝 및 에칭 프로세스를위한 뛰어난 해상도를 달성 할 수 있도록 설계된 고급 포토리스 장치 (photoresist unit) 입니다. 고해상도 마스크 알리그너 (Mask Aligner) 와 종합적인 습식, 건식 처리 솔루션을 결합하고, 통합 공정 제어 머신과의 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 사용자 인터페이스는 쉽게 작동할 수 있도록 직관적이고 인체 공학적으로 설계되었습니다.