판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #9360848

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 3500은 리소그래피 및 고해상도 패턴화 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 고급 UV 광원, 디지털 이미징 및 멀티 빔 정렬 (multi-beam alignment) 기술이 장착되어 있으며, 모두 서브 미크론 패턴을 가능하게합니다. FSI 폴라리스 3500 (FSI Polaris 3500) 의 UV 광원은 평평한 조명 필드를 제공하여 0.35 미크론 정도의 해상도에서 패턴화하는 데 적합합니다. 1.5 mW/cm2 (최대 100 mW/cm2) 에 이르는 다양한 전원 출력이 있으므로 패턴 정밀도와 해상도가 뛰어납니다. TEL Polaris 3500의 디지털 이미징 시스템은 고해상도 이미징에 매우 민감한 센서를 갖추고 있습니다. 다중 빔 정렬 기법은 여러 레이저 빔을 사용하여 노출 필드를 정확하게 정렬하고 불일치 오류를 줄입니다. 이 장치는 또한 노출 과정의 정확한 타이밍과 원치 않는 노출 예방을 위해 정밀 셔터 제어 (precision shutter control) 를 갖추고 있습니다. 폴라리스 3500 (Polaris 3500) 은 양성 및 음성 광사, 심지어 이국적인 물질을 포함한 다양한 광 esist 물질을 처리 할 수있다. 즉, 유지 보수가 적고 사용자 친화적으로 설계되므로, 운영자가 시스템을 손쉽게 설치, 운영할 수 있습니다. 이 툴을 위한 통합 컴퓨터에는 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (GUI) 가 있어 조작이 쉽고 직관적입니다. TOKYO ELECTRON Polaris 3500은 정확도가 높고 정밀도가 높은 전자 장치를 제조하기위한 훌륭한 도구입니다. 전력 출력 (power output) 범위와 결합된 고급 포토레시스트 (photoresist) 자산은 복잡한 패턴 작업 (patterning task) 을 달성하기에 이상적인 선택입니다. 유지 보수가 낮고 사용자 친화적인 특성으로 작동이 용이하며, 정밀 정렬 시스템 (precision alignment system) 은 매번 정확한 결과를 보장합니다.