판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #293616823

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 3500은 정확한 정밀도를 가진 미세 전자 및 광전자 부품을 생산하는 데 사용되는 광전자 장비입니다. 이 시스템은 고급 스테퍼 모터 모션 유닛 (Advanced Stepper Motor Unit) 과 독점 소프트웨어를 사용하여 기판에 포함 된 포토리스 물질 (Photoresist Material) 의 특정 영역을 정확하게 노출하고 제거합니다. 이 기계는 최적화 된 초점 자석 (focus magnet) 과 저소음 셔터 (low-noise shutter) 설계를 통해 노출 과정에서 서브 미크론 정밀도를 허용합니다. 이 도구는 빔 최적화 조명기 (Beam Optimized Illuminator) 를 사용하여 매우 높은 해상도로 조명 패턴 및 기타 이미지 모양을 생성할 수 있습니다. 이 조명기 (Illuminator) 는 광범위한 광파 (Light wavength) 를 제공하며, 더 나은 수율을 위해 매우 반복 가능하고 정밀한 광원 패턴을 만들 수 있습니다. 또한 조명기에는 조명기 (Aperture Illuminance) 모니터가 있어 정확한 조명을 모니터링할 수 있습니다. 에셋에는 프로젝션 광학 용 디지털 렌즈 모델이 있습니다. 이를 통해 투영 렌즈를 정확하게 배치할 수 있으며, 전체 시야에 걸쳐 손쉽게 정렬할 수 있는 장점, 반복 패턴 (reputing pattern) 의 품질 향상, 해상도 향상, 균일하고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 장비의 핵심은 8 인치 척 스테이지이며, 처리 중에 기판을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 멀티 포인트 척 시스템 (multi-point chuck system) 은 반복성이 높은 부드러운 동작을 제공하면서 기판을 안전하게 보관할 수 있습니다. 스테이지에는 온도 측정뿐만 아니라 기판 크기, 유형, 위치를 감지하는 센서가 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 기질에서 포토 esist 물질을 정확하게 노출하고 제거하는 MESFET (Multi-channel, Electron-Selective-Field-Melting) 필름 모듈을 자랑합니다. 이 모듈은 여러 MESFET 채널을 지원합니다. 포토 esist 프로세스 모듈과 함께, 필름 모듈은 포토 esist 프로세스 동안 매우 반복 가능하고 정확한 제어를 제공한다. FSI 폴라리스 3500 (FSI Polaris 3500) 은 매우 정확한 정확도로 마이크로 일렉트로닉 및 광전자 구성 요소를 생산하도록 설계된 혁신적인 포토 esist 기계입니다. 최적화된 조명기, 디지털 렌즈 도구, 척 스테이지 및 다중 MESFET 필름 모듈은 비교할 수없는 공구 기능 및 생산 정확도를 제공합니다.