판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2200 #9148882
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ID: 9148882
Cluster spray coating / Processing system
Computer control
(2) STAUBLI UNIMATION robotic arms
Nesting station
Chill unit.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 2200은 칩 제작과 관련된 것부터 광학 응용 분야까지 다양한 생산 프로세스를 위해 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 대용량 생산 및 고급 연구 및 개발에 이상적인 도구입니다. FSI Polaris 2200은 웨이퍼, 기판 및 광학의 정확한 처리를 위해 고정밀 선형 5 축 로봇을 갖추고 있습니다. 정확한 광학 이미징을 위해 낮은 왜곡 렌즈가있는 고성능 프로젝션 광학 시스템; 정확한 동작 제어를 위한 고정밀 폐쇄 루프 장치; 종합적인 안전 기능. 이 시스템은 고객에게 최대의 처리량, 동급 최고의 이미지 품질, 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. TEL Polaris 2200은 리소그래피 및 웨이퍼 앤 옵틱 (wafer-and-optics) 검사에서 최신 기술을 사용하여 뛰어난 이미지 및 라인 품질의 재현 가능한 이미지를 만들 수 있습니다. 이 툴의 독보적인 프로세스 레시피 (레시피) 는 다양한 처리 옵션과 유연성을 제공합니다. 또한 고급 이미지 검사 기술은 신뢰성이 높은 생산성을 보장합니다. 폴라리스 2200 (Polaris 2200) 은 포괄적인 프로세스 제어를 제공하여 개별 요구 사항에 따라 운영 프로세스를 신속하게 사용자 정의할 수 있습니다. 통합 레시피 생성기, 고급 도량형 기능, 직관적인 사용자 인터페이스가 특징입니다. TOKYO ELECTRON Polaris 2200 은 또한 직관적인 소프트웨어 패키지를 제공하여 고객의 생산량, 작업 매개변수, 트렌드를 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 제어를 최적화하고 생산성을 높일 수 있으며, 잠재적인 개선 사항을 파악할 수 있습니다. 또한, 자동화된 기능을 통해, 자산은 직원에게 불규칙성을 알리고, 신속하게 대응할 수 있습니다. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2200은 대용량 생산 및 고급 연구 개발을 위해 설계되었습니다. 광범위한 운영 애플리케이션에 적합하며, 고급 (Advanced) 기능을 통해 다양한 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 신뢰할 수 있는 성능과 비용 효율적인 운영을 통해 고객의 만족도를 극대화할 수 있습니다.
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