판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 1000 #9264626

FSI Polaried 1000 (FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000) 은 반도체 제조 공정에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 광감각제 (Photoresist) 는 반도체 웨이퍼 (Wafer) 표면에 적용된 감광재로, 장치의 다양한 계층에서 패턴을 만듭니다. 이것 은 "트랜지스터 '," 커패시터' 및 기타 부품 을 정확 하고 정확 하게 배치 할 수 있게 하기 때문 에 집적 회로 제조 에 중요 하다. FSI Polaris 1000 시스템은 깊은 자외선 (DUV) 을 사용하여 다양한 기질에 포토 esist를 빠르게 노출시킵니다. 이 빛은 단일 400mm 티타늄 도핑 사파이어 (Ti: S) 램프에 의해 제공되며, 파장 250nm의 빛을 제공합니다. 또한이 장치는 직사각형 평행 (rectangular parallel), 환형 (annular) 및 균일 한 스캔 (uniform scan) 을 포함한 다양한 조명 모드를 수용 할 수 있습니다. TEL Polaris 1000은 또한 photolithography 관련 매개 변수를 측정하는 데 사용되는 완전 자동 CCD (charge-coupled device) 도량형 기계를 갖추고 있습니다. 이 도구는 웨이퍼 서피스에서 이미지의 선형성과 핫/콜드 (hot/cold) 변위를 측정할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 포토 esist가 정확하게 노출되도록 셔터 및 자동 초점 모듈이 장착되어 있습니다. Polaris 1000은 청소실 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 등급은 클래스 1,000 (Class 1,000) 으로, 크기당 0.5 미터 이상의 1000 입자가없는 클린 룸 환경을 유지하도록 설계되었습니다. 또한, 이 모델은 최대 50 개의 레시피를 저장할 수 있으므로 반복 작업을 빠르게 프로그래밍할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Polaris 1000은 반도체 제조업체를위한 사용하기 쉽고, 안정적이며, 효율적인 포토 esist 장비입니다. 다양한 기판에서 고정밀 이미지를 생성 할 수 있으며, CCD 도량형 시스템 (CCD Metrology System) 은 중요한 프로세스 매개변수를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 통합 안전 기능을 갖춘 FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000은 모든 반도체 제조 시설에 적합한 선택입니다.