판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9354525

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury는 웨이퍼 및 기판의 고정밀 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 photoresist 시스템은 이중 슬리브 "턴테이블 (turntable)" 디자인을 특징으로하여 가공소재의 정확한 수송 및 처리를 가능하게합니다. 이 장치에는 통합 센서 어레이 (array of integrated sensor) 가 포함되어 있어 환경 변화와 기판 위치를 지속적으로 모니터링하고 조정하여 정확한 위치 지정 (positioning) 과 처리를 보장합니다. 턴테이블 자체는 모듈식 (modular) 설계로 구성되며, 이를 통해 구성 요소를 쉽게 업그레이드하거나 교체할 수 있습니다. FSI PFA Turntable for Mercury는 여러 photoresist 프로세스에 매우 안정적이고 효과적인 솔루션을 제공합니다. 최대 200mm (7.87 인치) 의 기판을 처리 할 수 있습니다. "머큐리 '광물질 을 분사 하여 기판 에 적용 시킬 수 있으며, 그 다음 에는" 모우터' 에 의하여 턴테이블 로 회전 하여 더 큰 정확도 를 얻는다. 테이블 서피스에는 통합 (integrated) 흐름 제어 머신 (flow control machine) 이 있으며 스프레이시 동종 솔루션을 유지합니다. 턴테이블은 또한 정밀 롤러 (precision roller) 를 특징으로하며, 가공이 진행되는 동안 기판이 정확성과 함께 움직이지 않습니다. 턴테이블은 또한 자체 마감이며 다양한 안전 기능이 있습니다. 여기에는 장애물 또는 차단 시 자동으로 자산을 중지하는 과부하 모니터링 도구 (overload monitoring tool) 가 포함됩니다. 또한 턴테이블에는 2 개의 비상 정지 스위치와 2 개의 중앙 활성화 안전 스위치가 있습니다. 또한 압력 센서 (pressure sensor) 를 사용하여 기판에 가해지는 압력을 모니터링하여 잠재적 인 손상을 방지합니다. TEL PFA Turntable for Mercury는 매우 효율적이고 안정적인 모델로, 사용자에게 고정밀 처리 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 사용하기에 매우 안전하며, 기판 포지셔닝 및 처리를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이 장비는 효과적이고 효율적인 포토레지스트 (photoresist) 처리 시스템을 찾는 사람들에게 이상적입니다.