판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9301950

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury는 최신 혁신적인 기술을 사용하여 사용자에게 고해상도 이미징 및 뛰어난 반복성을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 패턴화 (patterning) 와 높은 종횡비 (Aspect Ratio) 와 같은 특수 피쳐를 포함하는 복잡하고 섬세한 포토리스트 (Photoresist) 를 처리 할 수 있습니다. 구성 요소에는 인코더가있는 2 개의 회전 단계, 전동 XY 단계, 2 개의 다이오드 레이저, 4 배 TTL 줌 범위가있는 현미경 카메라 및 최대 해상도 5nm의 행성 이미지 분석이 포함됩니다. 턴테이블의 두 회전 단계 (rotating stage) 는 가장 정확성과 속도를 제공합니다. 즉, 각각이 다른 것과는 독립적으로 작동 할 수 있기 때문입니다. 첫 번째 단계 는 "마스터 스테이지 '이며" 모우터' 에 의해 구동 되고, 두 번째 단계 는 장치 의 "인코더 '에 의해 제어 된다. 이 전체 기계는 최고 정확도와 정밀 제어를 보장하기 위해 정밀하게 조정됩니다. 또한, 트윈 다이오드 레이저는 포토 esist의 빠르고 정확한 패턴을 허용합니다. 이것 은 광전술사 의 치료 를 최대화 시켜, 더 높은 해상도 의 "이미징 '을 가능 케 한다. 또한, 4 배 TTL 줌 범위가있는 현미경 카메라는 사용자에게 미세한 세부 사항을 뛰어난 이미징으로 제공합니다. 이를 통해 박막 증착 (Thin film deposition) 및 에칭 (etching) 을 포함한 재료 및 공정 수에 대한 연구가 가능합니다. 또한, 최대 해상도 5nm의 이미지 분석 (image analysis) 은 행성 (planetary) 방법을 사용하여 중요한 프로세스와 매개변수를 분석, 모니터링, 제어하는 기능을 향상시킵니다. 이 도구는 포토레시스트 (photoresist) 제품의 수율을 향상시키고 이미징의 신뢰성을 높이는 데 매우 유용합니다. 전반적으로 FSI PFA Turntable for Mercury는 뛰어난 이미징 및 최대 반복 성을 보장하기 위해 최고의 기술을 사용하는 고급 자산입니다. 2 개의 회전 단계와 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 은 포토 esist 생산에서 최대 효율성을 허용합니다. 또한, 트윈 다이오드 레이저 (twin diode laser) 는 정확한 패턴화를 촉진하고 이미지 분석을 통해 photoresist 프로세스를 더 잘 분석하고 제어 할 수 있습니다.