판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9252200

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury는 석판화 응용 분야에 사용하도록 설계된 고정밀 포토 esist 장비입니다. 턴테이블은 회전 기계식 플랫폼 (rotating mechanical platform) 과 고급 포토 esist 전달 시스템 (advanced photoresist delivery system) 을 사용하여 다양한 기판 크기와 모양에 대한 포토 esist의 균일 한 코팅을 제공합니다. 이 장치는 생산 리소그래피 (lithography) 에서 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 노출 및 코팅의 안정성을 유지하면서 탁월한 스루핑 (through-put) 기능을 제공합니다. 턴테이블 머신은 정교한 폐쇄 루프 제어 아키텍처 (closed-loop control architecture) 를 갖추고 있으며, 기판 회전 중 중요한 방향과 속도 매개변수를 정확하게 제어하여 공정 적용 범위의 균일성을 극대화합니다. 이 정밀 플랫폼은 소음 (noise) 과 드리프트 (drift) 가 낮도록 설계되었으며 프로세스 전체에서 높은 정밀도를 제공합니다. 턴테이블은 직접 구동 모터 도구 (direct drive motor tool) 와 매우 정밀한 각도 인코더 (angular encoder) 를 사용하여 진동 또는 공기 교란으로 인한 정착 오류를 최소화합니다. 이를 통해 프로세스 결과의 반복성을 보장하며, 자산은 리토 그래피 응용 프로그램 (lithography application) 의 엄격한 허용 범위 내에서 회전 정확도와 균일성 수준을 유지할 수 있습니다. 수은 공급원은 턴테이블 (turntable) 전면에 장착되어 기판에 포토 에스트 (photoresist) 를 안정적이고 안정적이며 에너지 효율적인 전달을 제공합니다. 또한 고급 제어 (advanced control) 알고리즘을 사용하여 소스를 최적화하여 전체 프로세스에 걸쳐 일관된 이미지 균일성을 보장할 수 있습니다. 안전 장치 (Safety System) 가 많이 장착되어 우발적 공정 오염의 위험이 줄어든다. 또한, 턴테이블은 빠른 전환 기능을 제공하여, 기판을 동시에 로드하고 언로드하여 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 이 플랫폼은 석영, 유리, 실리콘 웨이퍼, 유기 기판을 포함한 다양한 형태의 기판과 호환됩니다. 150mm, 200mm 또는 300mm를 포함한 로딩 용량의 선택으로, 이 웨이퍼는 빠르게 처리되어 리소그래피 프로세스에서 필요한 정확성과 반복 성을 제공합니다. FSI PFA 턴테이블 포 머큐리 (FSI PFA Turntable for Mercury) 는 소형이고 사용자 친화적 인 디자인의 최신 안전 기능과 함께 고정밀 드라이브 모델과 고급 포토레시스트 (photoresist) 전달 장비를 결합한 리소그래피 애플리케이션을 위한 안정적인 솔루션을 제공합니다.