판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #293653294

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury는 반도체 제작을위한 최첨단 포토 esist 장비입니다. 석판화 프로세스의 발전을 위한 고성능 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 고급 Mercury High-End Photoresist Processing 기술과 연결된 매우 정밀한 턴테이블 플랫폼을 사용합니다. FSI PFA 턴테이블은 안정적인 고급 생산을 제공하며, 25 nm 정도의 작은 구조를 생산할 수 있습니다. 이 장치는 뛰어난 정밀도를 제공하여 복잡한 패턴의 해상도와 뛰어난 오버레이 정확도를 제공합니다. 모듈식 설계로 다양한 맞춤형 구성이 가능합니다. 턴테이블에는 완전한 포토 esist 프로세스를 가능하게하는 프로세스 스테이션이 내장되어 있습니다. 통합 핫 플레이트, 분수 및 내부 확산 펌프가 포함됩니다. 통합 핫플레이트는 균일성이 좋은 고온 기능을 가지고 있습니다. 또한 빠르게 움직이는 핫 플레이트가 있으므로 빠른 전환 시간과 효율적인 사이클링이 가능합니다. 분수대는 균일 한 액체 분포와 정확한 복용량을 촉진하여 정확한 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 확산 펌프는 공정에서 원치 않는 다양한 입자를 제거하는 데 도움이됩니다. FSI PFA Turntable for Mercury는 온도 피드백도 갖추고 있습니다. 즉, 온도가 지속적으로 모니터링됩니다. 이렇게 하면 열/프로세스 유동을 최소화하여 성능과 일관성을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 프로세스 제어 및 레시피 인쇄 향상을 위해 자동 데이터 수집을 시작하는 통합 LVMS (Laser Video Measurement Machine) 가 있습니다. 이 도구는 패턴 위치 및 방향을 정확하게 제어하는 128 비트 다방향 인코더를 포함합니다. 다른 기능으로는 밀폐 된 디자인과 클린 룸 호환 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 구조가 있으며, 안전하고 깨끗한 운영 환경을 보장합니다. PFA 턴테이블은 또한 다른 프로세스 툴과 호환되며, 다양한 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 이러한 모든 컴포넌트의 조합은 패턴 정렬 (pattern alignment) 과 매개변수 (parameter) 를 매우 정확하게 제어하여 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 프로세스를 제공합니다. 전반적으로 TEL PFA Turntable for Mercury는 반도체 제작에 이상적인 안정적이고 효율적인 포토 esist 자산으로, 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 다양한 맞춤형 구성이 가능하며, 고온 통합을 통해 고성능 솔루션을 구축할 수 있습니다 (영문).