판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #293640260

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ID: 293640260
웨이퍼 크기: 6"
6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury는 다양한 재료 처리 응용 분야에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 포토레스 (photoresist) 시스템은 다양한 재료에서 높은 품질과 반복성을 가진 박막 (thin film) 의 빠르고 반복 가능한 증착을 허용합니다. FSI PFA Turntable for Mercury는 독특한 '리프트 및 푸시 (Lift and Push)' 메커니즘을 사용하여 얇은 필름을 기판에 배치하여 샘플의 복잡한 수동 조작이 필요하지 않습니다. 이 메커니즘을 사용하면 photoresist의 두께를 동시에 제어하면서 photoresist를 균일하게, 그리고 높은 정확도로 적용 할 수 있습니다. 이 장치는 3 채널 출력 단계를 사용하여 조절 가능한 필름 두께 및 증착 에너지 수준을 허용합니다. 이 기계는 박막 증착 (thin film deposition) 외에도 동일한 포토레지스트 설정을 사용하여 여러 샘플의 빠른 배치 처리를 가능하게 합니다. 이것은 도구에 가치를 더하고 효율성을 높입니다. TEL PFA Turntable for Mercury는 처리 조건을 실시간으로 추적하고 데이터를 저장하여 추가 분석을 수행합니다. PFA 턴테이블 포 머큐리 (PFA Turntable for Mercury) 에는 조사를위한 다양한 파장과 수은 빔의 초점이 선명한 고급 광학 자산을 제공하는 머큐리 램프 (mercury lamp) 가 장착되어 있습니다. 사용 된 수은 램프 (mercury lamp) 의 선택은 처리 중인 재료에 따라 다르며, 품질 및 반복성이 향상 된 맞춤형 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury (TOKYO PFA Turntable for Mercury) 에는 나머지 광저장제 및 기타 휘발성 물질을 기판에서 대피시켜 핀홀 형성이없는 원하는 물질의 깨끗하고 증착을 초래하는 진공 모델도 장착되어 있습니다. 결론적으로, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury는 박막 증착 작업을 짧게 만드는 신뢰할 수있는 포토 esist 장비입니다. 직관적 인 '리프트 앤 푸시 (Lift and Push)' 메커니즘, 실시간 데이터 추적 및 조사 옵션을위한 수은 램프로, 이 포토 esist 시스템은 탁월한 정확성, 일관성 및 반복 성을 제공하여 모든 재료 처리 응용 프로그램에 적합합니다.
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