판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293808180

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP는 photoresist의 적용과 표면에 패턴 에칭을 위해 박막 기판을 회전 할 수있는 포토 esist 장비입니다. 이 혁신적인 시스템은 높은 운영 처리량으로 안정적이고, 정확하고, 효율적인 처리를 가능하게 합니다. 이 장치 의 기본 설계 는 수동 회전 을 위한 각진 "레이디얼 암 '(radial arm), 회전 속도 조절 을 위한 행성 모터 (planetary motor), 기판" 웨이퍼' 를 부드럽고 안전 하게 유지 하기 위한 척 (chuck) 으로 구성 되어 있다. 수직 220 ° 의 동적, 조절 가능한 동작 범위를 통해 스핀 카세트에서 기판을 쉽게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 이 기능은 또한 균일 한 박막 스핀 코팅 프로세스 (thin film spin coating process) 에 유용하며, 여기서 팔을 조정하여 기판을 안정화하고 스핀코팅 과정에서 일정한 회전을 유지할 수 있습니다. PFA 턴테이블 (PFA Turntable) 은 anodized aluminum 구성 요소, super smooth linear bearing 및 내구성 커플 링과 같이 마지막으로 설계된 무거운 듀티 구성 요소로 제작되었습니다. 신뢰할 수있는 어셈블리는 가장 낮은 진동, 최대 공구 수명 및 정확도를 보장합니다. 이 기계는 또한 산 내성 코팅 (optional acid-resistant coating) 을 가지고 있으며, 포토 esist 및 에칭 재료의 화학 증착을 견딜 수 있습니다. 스핀들 회전은 0.1 Hz (0.1 Hz) 의 가변 주파수 드라이브를 통해 제어되며 100 ~ 20,000 RPM 사이의 저속 범위 제어 기능을 제공합니다. 이 드라이브에는 자동 가속 및 감속 제어 기능을 갖춘 디지털 셋포인트 제어 (digital setpoint control) 와 모터 및 기판에 대한 과속 보호 (overspeed protection) 가 장착되어 있습니다. FSI PFA Turntable for Mercury MP는 높은 수준의 생산 처리량을 위해 안정적이고 효율적이며 정확한 photoresist 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 설계 및 구조 (Advanced Design and Construction) 는 동력 방사형 암 (Motorized Radial Arm) 및 조정 가능한 동작 범위와 함께 기판 웨이퍼를 적재하는 것부터 하역하는 것까지 최적의 스핀 코팅 프로세스를 허용합니다. 강력한 듀티 (heavy-duty) 구성 요소와 신뢰할 수있는 어셈블리는 가장 어려운 포토 esist 응용 프로그램을 쉽게 처리 할 수 있습니다.