판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293650475

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP는 반도체 제조 공정에서 생산되도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 탁월한 성능, 뛰어난 속도, 뛰어난 정확성을 제공하도록 설계된 독립형 단일 축 장비입니다. Turntable의 고급 모터 (advanced motor) 기술은 반도체 업계에서 중요한 고정밀 선형 운동과 정확도를 제공합니다. 이중 레이저 가속 및 감속 연결, 특허를받은 저진동 사료 제어 시스템, 쉽게 설치할 수있는 자체 중심 베이스 플레이트 (base plate) 가 특징입니다. FSI PFA Turntable for Mercury MP는 다양한 프로토 타이 (prototye) 및 프로덕션 레이어 필름을 처리 할 수 있으므로 대상 응용 프로그램에 대한 광범위한 조명 및 명암비를 허용합니다. 내장 된 공기 칼 장치 (air knife unit) 는 가공 챔버 내에서 기판 주위에 재생 가능한 공기 간격을 만들어 기질의 효과적이고 균일 한 냉각을 제공합니다. 이 기능은 생산 프로세스의 중요한 표면 동결 프로세스를 돕습니다. 또한 고출력 수은 램프 (high-power mercury lamp) 를 사용하여 기판 표면에 균일하고 일관된 조명을 제공하여 균일성이 향상됩니다. 턴테이블 (Turntable) 은 시계 방향 및 시계 반대 방향으로 고정밀 선형 모션과 속도를 생성 할 수있는 디지털 서보 모터로 설계되었습니다. 이 기능을 사용하면 컴퓨터가 빠른 속도로 부품을 정확하게 회전할 수 있습니다. 또한 Turntable은 디지털 레이저 정렬 도구를 사용하여 정확성과 균일성을 보장합니다. 고정밀 레이저 정렬 에셋 (High Precision Laser Alignment Asset) 을 통해 모델은 고급 반도체 프로세스에 필요한 안정성과 정확성 수준을 달성할 수 있습니다. TEL PFA Turntable for Mercury MP는 뛰어난 처리 정확도 외에도 여러 가지 향상된 기능을 갖추고 있습니다. 최적 머시닝 봉투 (optimal machining envelope) 를 유지하기위한 스캔 바 장비, 열 변형을 최소화하도록 설계된 액체 냉각 시스템, 깨끗하고 잔해가 없는 처리 환경을 가능하게 하는 저압 보유 장치 (low-pressure holding unit) 가 특징입니다. 또한 온라인 자가 진단 소프트웨어와 함께 제공되며, 이 소프트웨어는 문제 해결 및 유지 관리를 지원합니다. 전반적으로, PFA Turntable for Mercury MP는 반도체 생산 공정을 위해 안정적이고 효율적인 포토 esist 기계입니다. 고정밀 선형 동작 (Linear Motion) 과 속도 (Speed) 를 제공하며 정확하고 균일 한 처리를 위해 고급 모터 기술 및 레이저 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 도구는 내장된 기능을 통해 프로토 타입 (prototype) 및 생산 레이어 필름 (production layer film) 처리를 위한 효과적이고 낮은 유지 관리 환경을 제공합니다.