판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384197

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion은 반도체 부품 생산에 사용되는 포토 esist 장비입니다. Photoresist 시스템을 사용하면 나노 스케일 (nanoscale) 수준에서 컴포넌트를 생성하는 데 사용되는 재료의 정확한 컨디셔닝이 가능합니다. FSI 오리온 시스템 (FSI Orion system) 은 다크 필드, 반사 및 투과성 이미징이 가능한 포토 esist 애싱, 스트리핑 및 개발 장치입니다. VRIE (Vacuum Reactive Ion Etching) 및 NRD (Non-Reflective Deposition) 프로세스의 조합을 통해 향상된 정밀도 및 제어를 제공합니다. 이 기계는 빠른 발진 시간 (ashing time) 과 완전 자동화 시퀀스 (fully automated sequence running) 를 통해 프로세스 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. TEL Orion은 polyimide, 수소 silsesquioxane, photo-polymer, benzocyclobutene 및 negative 및 positive photoresist를 포함한 다양한 광 esist 물질을 처리 할 수 있습니다. 또한 기판 청소, 에칭, 에치 백, 스트리핑, 레지스트 치료, 온도 어닐링 등 여러 동시 프로세스 작업을 실행할 수 있습니다. 이 도구에는 1.3 기가 와트 (Gigawatt) 무선 주파수 소스가 장착되어 있으며 기판에 균일 한 에칭 속도가 있습니다. 온도 정확도 향상, 플라즈마 조건 최적화, 가스 혼합 사용, 최종 사용자의 프로세스 정밀도 향상. 또한, 이 자산은 다양한 조건에 걸쳐 안정성 및 장치 무결성을 제공하며, 실시간 데이터 수집을 위한 인라인 검사 (inline inspection) 모델 (옵션) 을 제공합니다. 오리온은 또한 FSI 독점 소프트웨어로 완벽하게 자동화되어 있으며, 대용량 생산 라인에 유용한 툴입니다. 또한, 자동화된 재료 처리 및 실행 일정을 통해 관리가 매우 쉽습니다. 따라서, 사용자는 수동으로 데이터를 입력하거나, 끊임없이 하드웨어를 조정할 필요가 없습니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON OrION (TOKYO ELECTRON ORION) 은 다양한 프로세스 조건에서 우수한 장치 무결성을 제공 할 수있는 정확하고 효율적인 결과를 생산하도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 대용량 생산에 이상적이며, 관리하기 쉽고 자동화된 프로세스를 제공합니다. 이 "시스템 '은 신속 한" 애싱' 시간 과 더 높은 정확도 로, 모든 반도체 제조 공정 에 매우 귀중 한 도구 이다.