판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384186

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion은 반도체 리소그래피를위한 차세대 포토 esist 장비입니다. EUV (Extreme Ultraviolet) 리소그래피, DUV (Deep UV) 리소그래피 및 확장 된 광학 리소그래피와 같은 최신 기술 발전을 수용하도록 설계되었습니다. FSI Orion 시스템은 패턴 쓰기, 웨이퍼 관리, 노출 및 포스트 프로세스의 최신 발전을 특징으로합니다. 이 장치는 업계 최고의 해상도와 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 정확성과 정확도에 대한 최고의 요구 사항도 충족합니다 (영문). TEL Orion 기계에는 웨이퍼 로더/언로더 에셋 및 스테퍼/스캐너 플랫폼과 함께 다중 축 마스크 쓰기 및 정렬 도구가 포함되어 있습니다. 마스크 쓰기 모델은 여러 파장과 고해상도를 가진 이미징 장비 (Imaging Equipment), 여러 레이어를 가진 기판판 (Substrate Plate) 및 나노미터 이하의 레벨로 정렬할 수있는 마스크 정렬 시스템 (Mask Alignment System) 으로 구성됩니다. 웨이퍼 로더/언로더 (wafer loader/unloader) 장치는 기판 및 플레이트를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드할 수 있는 기능을 제공합니다. 스테퍼/스캐너 플랫폼은 다양한 리소그래피 (lithography) 기술에서 매우 정밀하게 초소형 패턴을 이미징 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Orion 머신에는 인라인 프로세스 모니터링 및 제어가 가능한 통합 도량형 기능도 있습니다. 이 도구에는 웨이퍼에서 하부 나노 미터 기능을 감지 할 수있는 이중 파장 도량형 자산이 포함됩니다. 이중 파장 도량형은 또한 더 엄격한 프로세스 제어를 허용하는 웨이퍼 레벨 잔여 물을 분석 할 수있다. 이 모델에는 통합 프로세스 레시피 라이브러리 (process recipe library) 와 고급 인라인 프로세스 제어 (in-line process control) 가 포함되어 있어 일관된 프로세스 성능을 보장합니다. 오리온 (Orion) 장비는 다른 하이엔드 리소그래피 시스템과 경쟁하는 비용으로 뛰어난 석판화 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 필요에 따라 모듈식 확장 (modular expansion) 을 가능하게 하는 확장성으로 설계되었으며, 새로운 기술이나 프로세스가 도입되면서 쉽게 업그레이드를 구현할 수 있습니다. 이 장치는 매우 유연하며, 다양한 리소그래피 솔루션을 수용하도록 쉽게 구성 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 광범위한 원격 지원 (remote support) 기능이 있어 도구 성능 및 업그레이드를 원격으로 볼 수 있습니다. 이를 통해 더 높은 수준의 고객 서비스와 지원이 가능합니다. 전반적으로 FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion은 기술 발전을 수용하고 업계 최고의 해상도와 처리량을 제공하도록 설계된 선도적인 포토레시스트 자산입니다. 이 모델의 유연성, 확장성, 원격 지원은 반도체 리소그래피 (lithography) 를 위한 경쟁력 있는 솔루션으로,