판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384180

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ORION은 이전에 비해 정확도와 충실도가 높은 반도체 회로의 패턴화를 가능하게하도록 설계된 포토 esist (PR) 장비입니다. 이 "시스템 '은 리소그래피' 를 사용 하여" 마스크 '나 "레티클' 의 한 패턴 을 응용광 을 사용 하여 기판 으로 옮긴다. FSI 오리온 (Orion) 장치에는 현대 반도체 응용을위한 고화질 패턴화에 사용하기에 적합한 다양한 기능이 있습니다. 이중 파장 조명 소스를 활용하여, TEL 오리온 머신 (TEL Orion machine) 을 사용하여 다른 것보다 크기가 작은 매우 훌륭한 패턴을 만들 수 있습니다. 소스는 자외선 (UV) 과 극자외선 (EUV) 을 동시에 방출할 수 있으며, 0.7 ~ 10.2 m에 이르는 조정 가능한 사진 스팟 크기를 갖습니다. 또한, 이 도구는 광학 통합 챔버 (optically integrated chamber) 를 갖추고 있으며 기존 석판 시스템에 비해 상당히 향상된 광학 성능을 제공합니다. 광학 기능 외에도 오리온 (Orion) 자산에는 다양한 기술 기능이 있습니다. 여기에는 노출 시간을 크게 줄일 수있는 독점적 인 고속 셔터링 모델이 포함됩니다. 게다가, 그것 은 대기 중 에 있을 수 있는 "화학 물질 '과 고도 의" 입자' 를 손상 시킬 가능성 이 있는 것 으로부터 장비 의 성분 들 을 보호 하는 "코우팅 '을 가지고 있다. TOKYO ELECTRON Orion 시스템은 고급 컴퓨팅 기능을 사용하여 PR의 더 세밀한 측면을 제어합니다. 여기에는 용량, 조명 파장, 초점 및 자동 초점 정확도, 확대 비율, 선형 (linear) 및 각도 오류, 기타 세부 사항과 같은 노출 매개 변수 제어 등이 포함됩니다. 사용자 인터페이스는 직관적인 레이아웃 (layout) 으로 설계되어 장치 매개변수를 제어하기 위한 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 를 제공합니다. 전반적으로 FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ORION 기계는 최신 반도체 응용 프로그램에 사용하기 적합한 기능과 기능을 제공하는 고급 PR 도구입니다. 이중 파장 기능, 조절 가능한 포토 스팟 크기 (Photo Spot Size), 보호 코팅 (Protective Coating) 및 고급 컴퓨팅 기능의 조합은 매우 정확하고 충실한 PR 자산을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.