판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9298710

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ORION은 반도체 웨이퍼에서 포토 esist 패턴의 개발 및 이미징에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 업계의 웨이퍼 (wafer) 와 기판 개발에 저항하고 정확한 패턴화를 가능하게 하는 완전 자동화된 도구/시스템이다. FSI Orion photoresist 유닛은 이미징 스테이션, 스핀 스테이션, 핫 플레이트 스테이션 및 부품 처리 및 이동을위한 자동 로봇으로 구성됩니다. 이미징 스테이션은 레이저 자동 정렬기, 마스크 정렬기, UV 램프, 스테퍼 및 이미지 창으로 구성됩니다. "레이저 '자동" 타이너' 는 "마스크 '를" 웨이퍼' 에 정확 하게 맞추는 데 사용 된다. 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 마스크를 웨이퍼에 이미지화하는 데 사용되며, UV 램프는 이미징 노출을 제공하는 데 사용됩니다. 스테퍼 (stepper) 와 이미지 창을 사용하여 웨이퍼 패턴을 모니터링합니다. 스핀 스테이션 (spin station) 은 포토 esist를 웨이퍼에서 기판으로, 그리고 웨이퍼의 패턴을 개발하는 데 사용됩니다. 회전 은 "와퍼 '를 0 내지 5,000rpm 으로 회전 시킬 수 있는 전동식 기계 에 의하여 가능 하다. 핫 플레이트 스테이션 (Hot Plate Station) 은 패턴 화 된 웨이퍼 위에 감광 물질 층을 굽는 데 사용됩니다. 로봇은 다른 스테이션 사이에서 부품을 이동하는 데 사용됩니다. 여기에는 5 개의 동작 축이 있으며, 반복적인 부품 이동에 대한 동작 경로를 프로그래밍 및 암기 할 수 있습니다. 전반적으로, TEL Orion photoresist 도구는 고정밀 패턴을 처리하고 마이크로 일렉트로닉스 산업에 필요한 개발에 저항할 수있는 안정적이고 정확한 도구입니다. 이미징 스테이션 (Imaging Station), 스핀 스테이션 (Spin Station), 핫 플레이트 스테이션 (Hot Plate Station) 및 로봇 (Robot) 과 같은 다양한 구성 요소로 구성되어 있습니다.