판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9278150

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 집적 회로 (IC) 제작에 사용되는 세계 최고의 포토 esist 장비입니다. 첨단 전자 빔 리소그래피 (Electron Beam Lithography) 기술을 사용하여 광범위한 전자 응용을 위해 포토 esist 레이어에서 20 나노 미터 이하의 기능을 만듭니다. 이 시스템은 KHz 스캔 주파수에서 작동하는 통합 광 결합 스캐너 (optical-coupled scanner) 및 단일 빔 소스 (single-beam source) 를 사용하여 고해상도, 반복 가능, 신뢰할 수 있는 리소그래피 성능을 제공합니다. 이 장치는 전자 빔 (e-beam) 을 기반으로하며 FSI가 개발 한 기술에 저항하여 신뢰성이 높고 진보적입니다. 고급 머신 설계는 단순화된 공구 제어를 갖춘 견고한 아키텍처를 기반으로 합니다. 리소그래피 프로세스는 기능적인 소스 및 이미지 자산을 중심으로합니다. 소스 모델에는 정확한 e-빔 생성, 강도 및 용량 제어, 픽셀-퍼펙트 리소그래피 (pixel-perfect lithography) 를 제공하기 위해 기계적/프로그래밍 된 정렬 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 장비는 수동 개입이 없어도 고정밀 마스크 에지 정렬, 빔 중심 및 빔 형상을 수행 할 수 있습니다. FSI 머큐리 (Mercury) 시스템에는 자동화되고 프로그래밍 가능한 프로세스 매개변수가 장착되어 있어 여러 웨이퍼와 배치 간에 일관성 및 반복 가능한 결과가 제공됩니다. 견고한 장치 아키텍처는 QC (Quality Control) 주변 장치를 사용하여 초점 조정, 빔 전류, 에치 깊이 등과 같은 프로세스 안정성을 모니터링함으로써 강화됩니다. 더욱이, 이 기계는 다양한 표준 프로세스 모듈 (standard process module) 과 고급 리소그래피 (high-end lithography) 도구를 사용하여 복잡한 칩 구조에 더 큰 사용자 정의 기능을 제공합니다. 또한, 이 도구는 중요한 기능 크기에 대해 1nm 이상의 정밀도로 엄격한 정확도 요구사항을 충족시킬 수 있습니다. 고르게 분산 된 조명 프로파일과 고품질 이미지에 대해 0.05도 기울기 각도를 생성하고 정렬할 수있는 대기 스캐너 (atmospheric scanner) 를 통합합니다. 이 자산은 온도와 습도 컨트롤러를 통합하여 안정성을 높이고, 시간이 지남에 따라 오버레이 (overlay) 오류를 줄일 수도 있습니다. TEL 머큐리 (TEL Mercury) 모델은 업계 표준도 준수하며, 단일 계층 저항 (single-layer resist) 생산에서부터 다중 레벨 금속화 계층 (multi-level metallization layer) 에 이르기까지 광범위한 프로세스 모듈에서 지원됩니다. 또한, 이 장비는 다양한 자동화 솔루션과 통합되어 인라인 (in-line) 프로세스 모니터링 및 카메라 기반 결함 검사 시스템, 검토 시스템, 자동 제품 로드/언로드 시스템 등의 추적 장치를 통합할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Mercury 시스템은 안정적이고, 정확하며, 반복 가능한 기능 크기가 필요한 고정밀, 고해상도 IC 제조에 이상적인 선택입니다. 첨단 기능 덕분에 전 세계의 여러 디바이스 제조업체와 연구 기관 (Research Institution) 에서 채택하고 있습니다.