판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9271575

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 반도체 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 대형 볼륨의 고해상도 패턴 (high resolution pattern) 을 웨이퍼로 만들고 전송하는 데 사용되는 고급 리소그래피 도구입니다. Photoresist는 photolithography에서 패턴을 만들기 위해 노출 매체로 사용되는 빛에 민감한 물질입니다. FSI Mercury 시스템은 인쇄 스캐닝 장치, 포토 esist 코팅 및 노출 장치, 청소 및 베이킹 프로세스, 포스트 프로세싱 기계로 구성됩니다. 스캐닝 (scanning) 장치는 고출력 레이저를 사용하여 웨이퍼 표면에 나노미터 스케일 패턴을 생성합니다. photoresist 코팅 머신 (photoresist coating machine) 은 패턴이 생성되기 전에 얇은 층의 photoresist 재료를 웨이퍼에 적용하는 데 사용됩니다. 노출 되는 동안, "레이저 '광선 은 특정 한 패턴 의" 웨이퍼' 에 적용 되어 원하는 모양 을 만든다. 그런 다음, "클리닝 '및" 베이킹' 공정 을 통해 처리 된 광물질 층 을 경화 시키고 파편 을 제거 한다. 마지막으로, 포스트 프로세싱 도구는 패턴을 추가로 개발하는 데 사용됩니다. TEL Mercury 자산은 매우 안정적이며 고속 작동이 가능합니다. 또한 정확한 패턴과 반복 기능으로 고해상도 이미지를 만들 수 있습니다. 이는 대용량 프로세스에 이상적이며, 공구의 정확성으로 인해 폐기물을 줄입니다. 또한 쉽게 수리 및 자동화하여 효율성을 높일 수 있습니다. 또한, 장비는 이중 패턴, 다중 노출 및 마스크 없는 리소그래피와 같은 고급 사진 리토 그래피 프로세스에 적합합니다. TOKYO ELECTRON Mercury 시스템은 복잡한 photolithography 프로세스를위한 강력한 도구입니다. 고해상도 이미지 전송 (High Resolution Image Transfer) 을 위한 신뢰할 수 있는 도구를 제공하여 효율성을 높이고 폐기물을 줄이고 리소그래피에 필요한 정확성과 반복성을 제공합니다. 생산량 증대, 비용 절감, 반도체 제조를 위한 탁월한 선택이 가능한 첨단 (advanced) 기능을 사용할 수 있다.