판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9223674

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 반도체 웨이퍼 제조에 사용되는 포토 esist 장비 유형입니다. 와퍼에 고해상도 패턴 (high-resolution pattern) 을 형성 할 때 다양한 광학 기술을 사용하여 정확한 리소그래피 효과를 허용하는 매우 정확한 시스템입니다. 이 장치는 대량 생산을 위해 최첨단 (Lead-Edge) 기술을 사용하여 설계되었으며, 경제적으로 실행 가능한 장치의 제작에 적합합니다. 이 기계는 다양한 구성 요소와 기술을 통합합니다. 여기에는 스캔 헤드 (scan head) 가 포함됩니다. 스캔 헤드는 웨이퍼 표면의 레이저 스팟 크기를 제어하는 데 사용됩니다. 개별 전력 제어 및 주파수 보상으로 짧은 펄스 레이저 다이오드 배열; 프로세스 제어를위한 모델 제어 컴퓨터; 그리고 진공실. 이 도구에는 또한 산소-질소 가스 전달 자산이 포함 된 통합 화학 챔버가 있습니다. 모든 컴포넌트는 트리플 축 동작 컨트롤러 (triple-axis motion controller) 에 의해 통합되어 모델이 웨이퍼의 미리 정해진 위치에 레이저 빔을 정확하게 배치할 수 있습니다. "포토레지스트 '장비 의 광학적 특성 은 원하는" 패턴' 을 정확 하게 형성 하는 데 중요 한 역할 을 한다. "디지털 '광" 마스크' 는 "레이저 다이오드 '와 함께" 웨이퍼' 에 광선 "패턴 '을 만들어 내는 데 사용 된다. 그 다음 에 노출 된 물질 이 개발 되는데, 이것 은 "레이저 다이오드 '무늬 를 기초 로" 웨이퍼' 에 식각 무늬 를 생성 한다. 광학 부품 외에도, 시스템에는 화학적 보조 에칭 기술 세트도 포함되어 있습니다. 이러 한 기법 들 은 여러 종류 의 재료 를 "에칭 '하기 위한 여러 가지 다른 방법 을 제공 하기 위해 제식 된다. 예를 들어, 등방성 에칭은 균일 또는 이방성 피쳐를 에칭하는 데 사용할 수 있으며, 반응성 이온 및 플라즈마 에칭은 작고, 복잡하고, 고해상도 패턴을 만드는 데 사용될 수 있습니다. FSI 머큐리 (FSI Mercury) 는 반도체 산업이 복잡한 전자 부품을 만들 수 있도록 돕는 혁신적인 사진 도구입니다. 이 제품은 강력하고, 안정적이며, 정확하며, 경제적으로 실행 가능한 장치를 제작하는 데 적합합니다. 더욱이, 이 기계는 점점 더 정확하고 정교한 기술로 정확성과 해상도를 지속적으로 향상시킬 수 있습니다. 이 포토레시스트 (photoresist) 도구는 다양한 소재에서 고해상도 (high-resolution) 기능을 생성하여 생산 시간이 단축되고 반도체 산업의 비용이 절감됩니다.