판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9207178

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury photoresist 장비는 FSI의 최첨단 저항 관리 솔루션으로, 일괄 처리 및 최첨단 포토 esist 처리 및 이미징 제어를 용이하게합니다. FSI Mercury 시스템은 노출 균일성 향상, 패턴 프로파일 제어 향상, 수율 및 처리량 향상, 프로세스 신뢰성 향상 등의 이점을 제공합니다. TEL 머큐리 장치 (TEL Mercury unit) 는 고급 광학 센서를 사용하여 다양한 photoresist 및 image structure 레이어의 특성을 실시간으로 측정하고 기록합니다. 이 데이터는 결과에 따라 저항 매개변수 (예: 두께, 저항성 등) 를 조정하는 고속 알고리즘으로 공급됩니다. 이를 통해 저항은 고객과 프로세스의 정확한 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다 (영문). 또한 TOKYO ELECTRON Mercury 머신 (TOKYO ELECTRON Mercury machine) 을 사용하면 매우 민감한 데이터 분석 도구를 통합하여 인쇄 프로세스에 대한 각 새로운 노출 또는 코팅의 효과를 모니터링 할 수 있습니다. 이렇게 하면 구조의 예기치 않은 변경 사항 (예: 두께, 저항성, 전반적인 인쇄 균일성) 을 식별할 수 있습니다. 머큐리 (Mercury) 도구의 고급 자동화 기능은 모든 배치 (가장 어려운 패턴 포함) 를 안정적이고 정확하게 처리하고 이미지화할 수 있도록 합니다. 자산은 멀티 피치 패턴 (multi-pitch pattern) 을 포함하여 미세 패턴의 내부 인쇄를 제어할 수 있으며, 효율적이고 정확한 미세 투영이 가능합니다. 또한, 예기치 않은 변동이 감지되면 모델 콜 (call) 및 구현 (corrective measures) 을 통해 모든 생산 단계가 제어 상태를 유지할 수 있습니다. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury 장비는 사용자에게 추가 실시간 수율 시뮬레이션을 제공합니다. 이 기능은 상세한 상태를 제공하고, 즉시 예측 및 실행할 수 있는 수정 사항을 예측하는 데 도움이 됩니다. 이렇게 하면 프로세스가 최적화되고, 패턴이 원하는 범위 내에 인쇄됩니다. 전반적으로, FSI Mercury photoresist 시스템은 매우 효율적이고 고급 제품으로, 사용자는 노출의 균일성 향상, 패턴 프로파일 제어 향상, 프로세스 신뢰성 향상 등의 이점을 제공합니다. 이 장치는 박막 공정, 전자 기기 제조, 평면 패널 디스플레이 생산 및 기타 고급 포토 esist 응용 프로그램에 이상적입니다.