판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9199857

FSI MERCURY는 집적 회로 (IC) 제조를 위해 대규모 석판 마스크 생산을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템을 통해 광석기 (photolithographic) 프로세스를 높은 정확도와 비용 효율적인 방식으로 완료할 수 있습니다. 이 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 상당한 수준의 라인 유연성 및 클리어런스 제어를 위해 마이크로 미러 투영 기술로 설계되었습니다. 프로그래밍 가능한 마스크 쓰기 기계는 150nm 기능 크기를 생성하며 최대 8K 디자인을 저장할 수 있습니다. 필름 레이어의 치수 정확도는 +/- 7.5nm 이내이며, 50mm 장치의 경우 최대 +/- 0.5%, 200mm 직경 장치의 경우 최대 +/- 0.2% 입니다. 한 가지 "디자인 '을 빠르고 쉽게 여러 가지 다른" 마스크' 로 변환 할 수 있는 완전 한 자동 도구 이다. 신뢰할 수있는 MERCURY 자산을 사용하면 더 큰 IC 용 석판 마스크를 만들 때 정확한 제어 및 정확도를 얻을 수 있습니다. 광도 방사선 다이오드 (LED) 를 사용하여 광석기 처리 중 노출량을 제어하는 포토 마스크 (photomask) 모델로 구성됩니다. 이 장비는 광학 투과율 격자 (optical transmittance grating) 와 고도로 반사적 인 코팅 (highly reflective coating) 의 조합을 사용하여 마스크가 기판과 설계 사양에 정확하게 특성화되고 일치하도록 합니다. FSI MERCURY 시스템은 또한 컴퓨터 제어 빔 라이팅 (beam-writing) 장치를 사용하여 가장자리와 모양을 정확하게 정의합니다. 기계는 또한 독특한 자동 조정 기능 (auto-tuning feature) 을 가지고 있으며, 기판 레이어의 특성으로 마스크 설계를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 마지막으로, MERCURY 도구는 사용자가 완료된 마스크의 무결성을 빠르고 효과적으로 결정할 수 있는 QC 옵션을 내장하고 있습니다. 이렇게 하면, 집적 회로 제조를 위해 가장 높은 품질의 마스크만 생성되도록 할 수 있습니다. 높은 정확성, 신뢰성 및 비용 효율성을 갖춘 FSI MERCURY는 집적 회로 생산에 필수적인 도구입니다.