판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9187823

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 최고 수준의 정밀도 및 신뢰성을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최신 리소그래피 (lithography) 및 이미징 기술을 고급 광학 장치 (optical unit) 디자인과 결합하여 다양한 기판에서 서브미크론 기능을 패턴 화 할 수 있습니다. 광범위한 재료에서 정확한 V 그루브 및 참호가 형성되도록 뛰어난 패턴 정확도, 순도, 반복 성을 제공합니다. 기계의 핵심은 좁은 밴드 자외선을 방출하는 FSI Mercury 이미지 램프입니다. 그런 다음, "필터 '를 조합하여 이 빛 을 광전자 발달 에 최적 된 파장 에 혼합 시킨다. 최적화 된 광 스펙트럼 (optimized light spectrum) 을 사용하면 저항이 최적의 강도를 유지하면서 빠르게 치료할 수 있습니다. photoresist 도구는 9 배율 계수가있는 고해상도, 레이저 스캔 이진 광학 자산을 사용하여 세밀한 패턴을 노출시킵니다. 반복 가능한 정렬 정확도 (± 2 äm) 외에도이 모델은 0.5 äm 크기의 피치 크기를 달성 할 수 있습니다. 설계 된 장비에는 웨이퍼 배치 단계 (wafer placement stage) 와 고급 안전 기능이 제공됩니다. 스테이지 (stage) 는 접촉 피쳐의 정확한 패턴화와 저항 프로파일의 뛰어난 제어를 위해 45 ° 의 기울기 각도를 제공합니다. 또한, 광원과 기판 사이에 반사 방지 필름 (anti-reflective film) 이 삽입되어 산란을 줄이고, 비 이상적인 표면에서도 만족스러운 조명을 보장하며, 스테이지가 과열되지 않도록 합니다. 마지막으로, 시스템에 안전 연결 (Safety Interlock) 을 설치하여 기계가 안정적이고 안전한 상태인 경우에만 UV 노출 (UV Exposure) 을 시작합니다. TEL 머큐리 (Mercury) 포토 esist 유닛은 정밀도가 가장 높은 포토 esist 패턴 생산에서 매우 신뢰할 수있는 것으로 입증되었습니다. 초소형 (ultra-small) 기능을 다양한 기판에서 패턴화하는 데 사용할 수 있으며, 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 고급 광학 장치, 안전 장치 (Safety Features), 기울기 가능 단계 (Tiltable Stage) 의 조합은 또한 광범위한 포토레시스트 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.