판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9157620

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 대용량 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 다재다능하고 정밀도가 높은 포토리스트 장비입니다. 입체 리소그래피, 산란 감소, CD 제어 및 에칭을 포함한 고급 리소그래피 및 처리 기술을 결합한 올인원 시스템입니다. FSI Mercury 장치는 정확하고 고품질 프로세스를 위해 높은 해상도와 안정성을 제공합니다. 이 기계는 독점적 인 스캐닝 툴과 고해상도 (high-resolution) 노출 기능을 갖추고 있어 정확하고 고속 노출이 가능합니다. 또한 Turbine Computer-Aided Manufacturing (TurboCAM) 소프트웨어를 사용하여 빠른 레이어 별 리소그래피 패턴을 만들 수 있습니다. TEL Mercury는 또한 고급 노출 후 처리 기능을 제공합니다. 여기에는 오염 물질과 오염 물질 파생 결함을 방지하는 다단계 사전 건조 자산이 포함됩니다. 또한 스핀 속도 (spin speed) 및 스핀 방향 (spin direction) 과 같은 매개변수를 최적화하여 더 큰 습식 범위와 뛰어난 균질 필름 두께를 달성하기위한 고성능 스피너 (spinner) 가 특징입니다. 이 광범위한 처리 옵션은 생산성을 크게 향상시키는 동시에 일관된 결과를 제공합니다. 수성은 또한 뛰어난 도구 성능을 제공합니다. 고정밀도 자동 초점 모델을 통해 웨이퍼 형태 (wafer shape), 서피스 곡률 (surface curvature) 및 높이 (heights) 와 같은 지형 수정을 자동으로 보완합니다. 이는 시간이 지남에 따라 최고의 이미지 정확성과 안정성을 보장합니다. 이 장비는 또한 높은 정확도로 노출 용량을 제어하는 것과 같은 고급 프로세스 제어 기능 (예: 작은 비 균일성을 식별하는 CD 균일성 모니터링 시스템) 을 제공합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Mercury photoresist 유닛은 높은 정밀도와 안정성을 요구하는 대용량 리소그래피 응용 분야에 적합한 선택입니다. 탁월한 도구 성능, 고급 노출 후 처리 기능, 노출 용량 및 CD 균일성에 대한 뛰어난 제어 기능을 제공합니다. 광범위한 처리 옵션을 통해 생산성을 높이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.