판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9137915

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 반도체 칩 생산에 photolithography 프로세스에 사용되는 photoresist 장비입니다. 그것은 photolithographic stepper와 함께 사용하도록 설계된 DUV (Deep Ultraviolet) 저항을 사용합니다. 이 시스템은 자동 기계 컨트롤러, 투명 저수지 및 정밀 스핀 코터가있는 폐쇄 루프 (closed-loop) 처리 장치로 구성됩니다. 공구 컨트롤러 (Tool Controller) 는 다양한 웨이퍼 크기와 생산 볼륨의 요구를 충족하도록 설계되었으며, 스핀 코터를 정확하고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 컨트롤러는 각 애플리케이션에 대해 프로세스 변수를 최적화할 수 있는 통합 프로세스 데이터베이스 (integrated process database) 에 연결됩니다. 또한, 자산은 각 웨이퍼 (wafer) 에 대한 뛰어난 레벨링 정확도와 균일성으로 결과의 반복성이 높아 수익률과 품질 일관성을 보장합니다. 이 모델의 저수지는 투명한 저압 실리콘 저수지 (silicone reservoir) 로, 자동 필름 응용 프로그램에 적합한 정확하게 설계된 전송 볼륨이 있습니다. 유해 수지 (dilution resin), 유기 용매 (organic solvent) 사용 등 다양한 필름 유형에 쉽게 유지 및 사용할 수 있습니다. 스핀 코터 (spin-coater) 는 박막 (thin film) 을 회전시키는 고정밀 장치이며 웨이퍼 (wafer) 에서 수평 회전하는 도움을 받아 균등하게 두꺼운 필름을 가능하게하는 실리콘 케이크를 포함합니다. 또한, 컨트롤러는 스핀-코터 (spin-coater) 에 연결되어 각 응용 프로그램에 대해 조정 할 속도, 압력, 시간 등의 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 전체 장비는 다양한 박막, 저항, 유전체 및 금속의 패턴화를 위해 UV (Ultra-Violet) 이미징을 제공하도록 설계되었습니다. 단일 (single) 및 이중 (double) 레이어 유전체에 뛰어난 성능을 제공하므로 이중 패턴화 및 정확한 에치 선택도 가능합니다. 이 시스템에는 또한 스프레이 (spray) 및 스핀 코팅 (spin-coating) 과 같은 다양한 유형의 코터 기술이 포함되어 있으며, 이는 모든 유형의 기판에 적합합니다. 이를 통해 대규모 생산, 연구/테스트 (Research & Testing) 애플리케이션에 이르기까지 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. FSI 머큐리 (FSI Mercury) 는 고도의 자동화된 포토레시스트 머신으로, 기존의 포토리스토그래피 시스템에 비해 향상된 성능을 제공합니다. 유연성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 단일 장비에 대해 복잡한 패턴화 (patterning) 프로세스를 수행할 수 있습니다.