판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120352

FSI MERCURY는 거시전자 및 반도체 응용 분야를 위해 특별히 공식화 된 독점적 인 포토 esist 장비입니다. 저항성 폴리머 (polymer) 의 초박막 (ultra-thin film) 으로, 원하는 패턴을 물리적 기판으로 전달하는 데 필요한 에너지를 방출하거나 함정 할 수 있습니다. 이 시스템은 개발자 (developer) 와 방사선 (radiation) 과 결합 된 염기 액체 광사 물질로 구성되며, 회로 제작에서 회로 또는 컴포넌트의 이미지를 전송할 수 있습니다. 이 photoresist 단위는 알루미늄, 구리, 유리, 실리콘, 반도체, 갈륨 비소 및 석영과 같은 다양한 기질 재료에 사용하기에 적합한 다양한 공식으로 제공됩니다. 자외선 (UV) 방사선에 노출되면 MERCURY는 폴리머가 분해되어 에치 이미지를 만듭니다. 재료는 또한 높은 측면 저항을 가지고 있으며, 이는 언더 커팅 또는 지연을 방지합니다. FSI MERCURY는 여러 종류의 특수 구성 요소를 사용하여 다른 포토 esist보다 뛰어난 성능을 제공합니다. 기계는 필름이라고도하는 중합 저항 재료로 시작합니다. 필름은 스핀 코팅 (spin-coating) 프로세스에 의해 기질에 적용되고 필름 품질을 향상시키기 위해 자외선 (UV-light) 노출에 의해 치료된다. 또한, 추가 방사선을 사용하여 원하는 패턴을 사전 코팅 된 웨이퍼에 노출시킵니다. 저항이 노출되면, 인라인 애셔 (in-line asher) 를 사용하여 불소 기반 경화 과정을 통해 노출되지 않은 저항 필름을 회복 할 수 있으며, 이는 영구 결합을 형성한다. 이를 통해 photolithographically 에칭이 쉽습니다. 개발 후 단계 (post-development stage) 는 노출 된 물질이 깨끗하게 벗겨져 고해상도 이미지를 남기는 것이 필수적입니다. 머큐리 포토레지스트 (MERCURY photoresist) 도구에는 컨택트 마스크를 들을 때 해상도와 품질을 유지하기 위한 최상의 솔루션을 제공하는 고품질 개발자도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 기본 기판이 etch 프로세스에 의해 손상되지 않습니다. 요약하자면, FSI MERCURY는 여러 구성 요소와 프로세스를 활용하여 이미지를 기판으로 전송하는 박막 저항 (Thin-film Resist) 자산입니다. 첨단 기술과 유연성, 비용 효율성, 뛰어난 해상도 등 다양한 이점을 제공하는 머큐리 (MERCURY) 는 매크로일렉트로닉스 (macroelectronics) 및 반도체 어플리케이션을 위한 최적의 솔루션을 제공합니다.