판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120351

FSI MERCURY는 소형화 된 구성 요소 기능의 효율적인 석판화를 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 고급 DUV 디지털 리소그래피 기술을 기반으로하며 엑시머 레이저 조명 장치, 완전 광학 영상 장치, 스핀 코터, 스핀 드라이어로 구성됩니다. 엑시머 레이저 조명 도구 (excimer laser illumination tool) 는 짧은 파장 노출 패턴을 생성하며, 이는 포토 esist 코팅 기판에 정확하고 일관된 패턴을 만드는 데 사용됩니다. 이 자산은 매우 복잡한 3D 컴포넌트에 사용할 수있는 sub-micron 해상도의 패턴을 생성 할 수 있습니다. 머큐리 모델 (MERCURY model) 의 완전한 광학 영상 장비는 기존의 광 노출 시스템보다 더 많은 성능과 해상도로 포토 esist 코팅 웨이퍼를 균등하고 정확하게 조명합니다. 통합 스핀 코터 (spin coater) 및 스핀 드라이어 (spin dryer) 는 최적의 필름 두께와 정확한 표면 균질성을 통해 생산이 가능한 균일 한 스핀 코트 및 건조 프로세스를 제공합니다. 이러한 첨단 구성요소 조합을 통해 FSI MERCURY는 패턴 충실도 (pattern fidelity) 가 많고 성능이 높은 패턴을 만들 수 있습니다. 머큐리 (MERCURY) 의 포토레스 시스템 (photoresist system) 은 얇은 층에서도 허용 가능한 결함 속도로 고정밀 기능을 생성 할 수 있습니다. 그 설계 는 금속, "폴리머 '," 플라스틱', 유리 등 여러 가지 재료 를 사용 할 수 있게 해 준다. 이 장치에서 구멍을 통해 3D 패턴까지 다양한 리소그래피 (lithography) 응용 프로그램을 지원할 수 있습니다. 기계는 사용하기 쉽고 뛰어난 결함 분석 기능을 제공합니다. Sub-micron 공정 제어는 정확한 마스킹 및 자동 노출 스캐닝을 사용하여 가능합니다. 여러 레이어에 자동으로 노출되고 다양한 패턴화 (patterning) 및 최적화 (optimization) 옵션을 통해 정확한 피드백 제어를 통해 정확성과 효율성을 더욱 높일 수 있습니다. 이 같은 매우 민감한 포토레시스트 (photoresist) 시스템은 휴대폰 카메라, 광학 부품, 집적 회로와 같은 더 어려운 기술에 대해 뛰어난 해상도, 균일성, 결함 감소를 제공합니다. FSI MERCURY의 정밀 포토레지스트 (photoresist) 도구는 정밀도 및 반복성이 높은 3D 컴포넌트의 석판화를위한 훌륭한 솔루션입니다.