판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9116685

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 FSI Corporation에서 개발 한 고급 포토 esist 장비입니다. 즉, 가장 빠른 속도와 정확도를 지닌 대용량, 매우 복잡한 집적회로의 제작을 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 기판 및 코팅 재료와 쌍을 이루는 고급 리소그래피, 증착, 에치 및 도량형 프로세스를 결합합니다. 이것은 오늘날 가장 기술적으로 첨단 장치 (advanced device) 에 사용되는 고밀도 반도체 생산에 이상적인 도구입니다. FSI 머큐리 (FSI Mercury) 는 변화하는 회로 설계에 적응하고, 성능 확장성과 예측 가능성을 제공하는 유연한 도구 플랫폼을 결합합니다. 즉, 이미지가 기계에 입력되는 순간부터 패턴을 정확하게 처리하는 고급 다기능 석판화 장치 (advanced, multi-functional lithography unit) 가 특징입니다. 이 도구는 +/- 3nm의 정확도로 0.25 미크론 이하의 피쳐 크기를 생산하도록 설계되었습니다. 이렇게 정밀도가 높아지면 더 매끄럽고 작은 피쳐를 생산할 수 있습니다. TEL Mercury에서이 과정의 증착 부분은 알루미늄, 구리, 코발트, 티타니아 및 다이아몬드 유사 탄소 (DLC) 와 같은 금속을 포함하여 광범위한 물질을 제공합니다. 또한 통일성 교정이 필요하지 않은 고도로 균일 하고 등각 된 박막 (thin film) 을 증착 할 수있는 등각 증착 시스템이 포함되어 있습니다. 이것은 3D 구조를 만들 때 더 높은 수준의 정확도를 제공합니다. 에치 공정은 유도 결합 플라즈마 (ICP) 기술을 사용하여 높은 선택성과 적합성을 만듭니다. 이를 통해 왜곡이 최소화된 다양한 기능과 구조를 생성 할 수 있습니다. 또한 고급 타이밍 (Timing) 기술을 지원하여 프로세스를 완벽하게 제어하여 안정적인 생산이 가능합니다. 마지막으로, 수성의 도량형 과정을 통해 부품과 필름을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 고해상도 주사 전자 현미경 (SEM), 근거리 주사 광학 현미경 (NSOM), 원자력 현미경 (AFM) 및 기타 다양한 도구가 포함됩니다. 이러한 모든 기능은 디바이스의 기능과 성능에 대한 정확한 피드백 (feedback) 을 제공하도록 설계되었습니다. 결론적으로 TOKYO ELECTRON Mercury는 고성능, 확장성 및 예측 가능성을 제공하는 고급 포토레시스트 자산입니다. 이 제품은 다양한 고급 석판화, 증착, 에치 (etch), 도량형 프로세스 (metrology process) 와 높은 수준의 프로그래밍성을 결합하여, 복잡한 집적 회로를 생산하는 강력한 도구를 엔지니어에게 제공합니다.