판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9093020

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 반도체 웨이퍼에서 집적 회로 부품을 제조하기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 조명 장치, 개발 기계 및 포토 esist 도구의 세 부분으로 구성됩니다. 조명 에셋은 엑시머 레이저 광원을 사용하여 회로 패턴을 웨이퍼에 노출시킵니다. 그런 다음, 파장, 펄스 너비, 에칭 패턴, 노출 용량 (dose of exposure) 과 같은 노출 매개변수를 제어함으로써 광도에 민감화 될 수있는 재료 인 광소시스트 (photoresist) 로 이 패턴을 전달합니다. 개발 모델은 트랙 장비 (Track Equipment) 를 사용하여 고해상도 회로 패턴을 만드는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 포토 esist 시스템에는 노출 된 회로 패턴을 개발하고 에칭 프로세스를 제어하기위한 솔루션이 포함됩니다. 이것은 스핀 코트 및 스프레이 코트 프로세스와 같은 다양한 솔루션을 사용하여 수행됩니다. 스핀 코트 (Spin-coat) 는 회전 기판을 사용하여 웨이퍼 표면에 포토 esist의 균등하고 균일 한 층을 증착시키는 반면, 스프레이 코트 (spray-coat) 는 유기 용액의 반응을 웨이퍼에 사용하여 포토 esist 층을 개발합니다. 이 photoresist 장치는 용매를 사용하여 에칭 프로세스를 제어하고 원하는 회로 패턴을 얻습니다. 일반적으로 사용되는 용매에는 디메틸 설폭시 드 (DMSO) 및 테르 피네 올 -I- 올 (T-I-O) 이 포함됩니다. 이들 용매는 웨이퍼 (wafer) 표면의 화학 결합을 분해하고, 따라서 포토 esist 층이 패턴에 고착 할 수 있도록 돕는다. 마지막으로, FSI 머큐리 (FSI Mercury) 는 스페이서 (Spacer) 기술을 사용하여 트랜지스터 회로의 경계를 정의하는 데 사용되는 얇은 간격 충전 구멍인 격리 레이어를 형성합니다. "스페이서 '층 은 전기 절연 환경 을 마련 함 으로써" 트랜지스터' 의 수율 과 성능 을 증가 시키는 데 도움 이 된다. 결론적으로, TEL 머큐리 (TEL Mercury) 는 웨이퍼에서 집적 회로를 제작하기위한 효율적이고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공하는 포토레스 머신입니다. 광원 (light source), 개발 도구 (development tool) 및 포토레시스트 자산 (photoresist asset) 과 다양한 용매를 활용하여 완전한 포토레시스트 제작 모델을 형성합니다.