판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9073573

FSI 머큐리 (FSI MERCURY) 는 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 일반적으로 사용되는 실리콘 웨이퍼에 마이크로 (micro) 및 나노 스케일 (nanoscale) 기능을 정확하게 에칭하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 포토레스 기술 (Photoresist Technology) 은 포토리스 그래피 제작 과정에서 반도체 기질에 대한 정확한 패턴 또는 특징을 만들기 위해 포토레 시스트 (photoresist) 로 알려진 감광 필름 유형을 정확한 광선 기반 패턴에 노출시키는 것을 포함한다. 머큐리 (MERCURY) 는 FSI 제품 라인에 추가된 것으로, 다른 FSI 제품보다 더 고급적이고 복잡한 기능을 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 직접 레이저 패턴화 (direct laser patterning) 를 사용하는데, 이는 최대 0.1 m의 정확도로 패턴을 생성하기 위해 초점 크기가 10 m 미만인 것을 특징으로하며, 복잡한 마이크로 및 나노 스케일 패턴을 에칭 할 때 뛰어난 해상도를 제공합니다. 이 장치 는 독특 한 화학기계 를 가지고 있는데, 이것 은 다른 광전자 (photoresist) 제품 에 비하여 "에칭 '시간 이 더 빠르며, 전자 빔 무늬 와 관련 된 시간 과 비용 을 줄여준다. 화학적 도구 (chemical tool) 는 우수한 해상도와 함께 에지 오버 슈트 (edge-overshoot) 가 없으면 좁은 선이 생성 될 수 있음을 의미합니다. 즉, 패턴 처리 과정은 최소 결함으로 매우 정확합니다. FSI MERCURY 자산은 또한 선반 수명이 우수한 낮은 물 흡수를 특징으로하며, 노출 범위가 넓습니다. 이 모델은 또한 저항과 TKW (Thermo-Ketone Watersoluble) 레이어 사이의 선택성을 최적화하는 데 도움이 될 수있는 오존 (ozone) 및 플라즈마 처리 (plasma treatment) 를 포함한 여러 무료 프로세스에서 잘 작동합니다. 이 장비는 또한 안정성이 높으며, 최소한의 다운타임 (downtime) 을 기록합니다. 즉, 운영 프로세스는 일관되고 효율적입니다. 전반적으로, 머큐리 (MERCURY) 는 우수한 수준의 정확도와 해상도로 마이크로 (micro) 및 나노 스케일 (nanoscale) 패턴을 식각 할 수있는 고급 포토 esist 제품입니다. 이 시스템의 첨단 화학단위 (advanced chemical unit) 로 인해 에칭 (etching) 과정이 단축되었으며, 제품은 우수한 저장 속성과 최소한의 가동 중지 시간을 갖추고 있어 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 산업에서 사용하기에 적합합니다.