판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9030479

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 UV 및 Visible 빛을 정밀도가 높은 반도체 및 기타 재료에 정확하게 노출하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 다양한 기판에 사용될 수있는 뛰어난 일관성을 갖춘, 신뢰성이 높은 자외선 노출 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 "레이저 '정렬 기능 에 더하여 정확 한" 패턴화' 와 강화/산란 을 위한 움직 일 수 있는 단계 도 있다. FSI Mercury는 High Precision Spin Coater를 사용하여 기판에서 포토 esist의 정확하고 균일 한 코팅을 가능하게합니다. 이 장치에는 가변 회전 속도 (variable spin speed) 및 온도 조절 (예: 회전 전에 기판 가열에 대한 컨트롤러) 과 같은 특수 기능이 포함됩니다. 스핀 코터와 페어링 된 웨이퍼 스테이지는 200mm 웨이퍼의 용량을 갖습니다. TEL Mercury의 DUV (Deep Ultraviolet) 광원은 높은 수준의 노출 정확도를 달성하도록 특별히 설계되었으며, 균일 한 노출을위한 광학 밀도 조정 기계를 포함하여 다양한 기능을 제공합니다. [위치 지정 도구] 를 사용하면 가장 효과적인 결과를 위해 노출 대상이 정확하게 정렬됩니다. 머큐리 (Mercury) 의 광원은 또한 노출 시스템 사이의 크로스 토크를 줄이기 위해 설계된 셔터 기능을 가지고 있습니다. 자산 하단의 CCD 이미지 센서 (CCD Image Sensor) 와 함께, 이는 명확하고 반복 가능한 노출이 달성됩니다. 3 축 컨트롤러와 자동 레벨 (auto-leveling) 테이블은 흔들림 없이 노출의 안정적인 기초를 제공합니다. 또한 TOKYO ELECTRON Mercury에는 스캔 및 패턴화에 민감하고 정확한 제어 모델이 있습니다. 크기와 모양 모두에서 빠른 패턴화 (patterning) 를 허용하여 온칩 (on-chip) 패턴을 효율적이고 정확하게 생산할 수 있습니다. 전반적으로 FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury는 사진 분석 및 스캐닝 프로세스를위한 가치가 높고 효과적인 포토 esist 장비입니다. 탁월한 컨트롤과 다양한 기능을 통해, 정확하고 안정적인 패턴 노출을 가능하게 합니다. 이 시스템은 고품질 결과를 제공하는 신뢰할 수 있는 도구이며 반도체 (semiconductor) 및 포토마스크 (photomask) 제작에 적합합니다.